目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>熱蒸發鍍膜儀>> CY-EVH300-III-HHH-SS三源高真空蒸發鍍膜儀
產地類別 | 國產 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
---|---|---|---|
應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
三源高真空蒸發鍍膜儀,設備采用前開門式真空腔體設計,腔體空間大,可拓展性強,能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺,可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱,所有操作均通過觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統,由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環境;真空系統內含有完善的氣動閥系統,用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現抽取真空、不停機取放樣、停機等操作。
本設備的蒸發源共三組,采取鎢舟蒸發源,水冷式銅電極,可*大支持260A的大電流,加熱溫度*高可達1800℃,可實現多種難熔金屬的蒸鍍,三組獨立熱蒸發源,不會導致鍍材互相污染。本設備采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計,真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作,在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能,是實驗室高精度蒸發鍍膜試驗的之選。
金屬和介電膜
薄膜傳感器的制造
光學元件
納米與微電子
太陽能電池
產品名稱 | 三源高真空蒸發鍍膜儀 | |
產品型號 | CY-EVH300-III-HHH-SS | |
樣品臺 | 外形尺寸 | 直徑φ150mm |
可調溫度 | ≦500℃ | |
熱蒸發源 | 金屬蒸發源鎢舟3個 | |
蒸發電源 | 每個蒸發源配一組獨立電源;三個蒸發源可同時共蒸 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ300mm,高度400mm |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
腔體材質 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀(也可選膜厚控制儀) | |
真空系統 | 前級泵 | 雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S |
次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測量 | 復合真空計(電離規+電阻規) | |
系統真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制器 | |
其他參數 | 供電電源 | AC380V,50Hz |
整機尺寸 | 1000mm×800mm×1500mm | |
整機功率 | 7KW | |
整機重量 | 350kg |