目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>熱蒸發(fā)鍍膜儀>> CY-EVH350JJL-5-SS5英寸近源有機物蒸發(fā)鍍膜爐
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
5英寸近源有機物蒸發(fā)鍍膜爐是一種雙加熱區(qū)快速熱處理爐，具有11"外徑的石英管。它是專為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發(fā)鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部)，zui大加熱速率20oC/s。兩個30段精密溫度控制器內(nèi)置，精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件，允許通過PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽能電池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽能電池.
5英寸近源有機物蒸發(fā)鍍膜爐技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱 | 5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐 | |
產(chǎn)品型號 | CY-EVH350JJL-5"-SS | |
樣品臺 | 外形尺寸 | 5"x5" |
轉(zhuǎn)速 | 1-20RPM | |
可調(diào)溫度 | ≦950℃ | |
熱蒸發(fā)源 | 20個紅外燈管作為加熱元件 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 350 mm Dia x 300 mm h |
觀察窗口 | 100 mm | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） | |
真空系統(tǒng) | 配有一套分子泵系統(tǒng) | |
系統(tǒng)真空 | 1×10-5Pa | |
流量計 | 兩路浮子流量計 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m | |
工作溫度 | 每個加熱器的*高溫度：RT-950℃。 兩個加熱器之間的*大溫差：<= 300oC 取決于兩個加熱器之間的間距：間距 30mm *大。 溫差：315oC @ 僅加熱底部 | |
溫控系統(tǒng) | 兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨立控制上下兩個加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序 每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護 | |
水 冷 | 循環(huán)水冷機（KJ-5300型，16L/min) | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | 208V 60HZ 三相 |
整機尺寸 | 600mm×650mm×1500mm | |
1
化工儀器網(wǎng)