目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>熱蒸發鍍膜儀>> CY-OE有機無機蒸發鍍膜儀
產地類別 | 國產 | 價格區間 | 10萬-30萬 |
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應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
有機無機蒸發鍍膜儀設備用途:
蒸發鍍膜儀用于生長薄膜太陽能電池,EL OEL分子有機電致發光器件薄膜的研究工作。廣泛應用于大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。
有機無機蒸發鍍膜儀技術參數:
真空室 | 二個D型真空室,尺寸均約為?450×H750mm; 兩個真空室的真空系統配置、極限壓力、恢復真空時間、熱阻蒸發舟及電源、膜厚監測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置、樣品臺的配置與技術參數指標相同; | |
真空系統配置 | 日本進口低溫泵、無油渦旋干泵與電磁、復合數顯真空測量規與計、閥門等。 | |
極限壓力 | ≤2.0×10-5Pa | |
恢復真空時間 | 40分鐘可達到1×10-4Pa | |
電動磁力耦合樣品傳遞裝置 | 真空室1 | 采用磁力耦合line motion傳遞裝置,采用步進電機驅動,設有遠程手控控制盒,可控制直線前進后退。 |
有機蒸發源及電源 | 真空室1 | 新型0EL升華型蒸發源9支,每支蒸料可裝10CC,室溫-800℃7支,室溫-1000℃2支;蒸發源電源4臺。 |
真空室2 | 新型0EL升華型蒸發源6支,每支蒸料可裝10CC,室溫-800℃6支;蒸發源電源3臺。 | |
熱阻蒸發舟及電源 | 新型蒸發舟2組(熱阻蒸發舟); 數字式熱阻蒸發電源1臺,帶有細調功能(0.1安培);鍍鋁專用盒式蒸發舟:2個; 普通金屬蒸發舟10個;蒸發源擋板2套; | |
膜厚監測儀 | 厚度分辨率 | 不平均:0.0133埃/測量;50個樣品平均:0.002埃/測量 |
速率分辨率 | 不平均:0.0133埃/秒;50個樣品平均:0.02埃/秒 | |
精度 | 0.03HZ/測量,2ppm | |
速度 | 每秒測量十次 | |
真空室照明裝置 | 采用LED外照明方式.避免鍍膜污染照明燈 | |
烘烤裝置 | 在真空室外烘烤帶的烘烤方式 | |
樣品臺 | 樣品尺寸 | 可放置一塊100×100mm或者50×50mm基片 |
運動方式 | 可電動上下升降,可旋轉,轉速為0-30轉/分,轉速可調 |
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