目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統>> CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q1200℃雙溫區3路質量供氣低真空CVD系統
1200雙溫區3路質量供氣低真空CVD系統同時管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。
系統所配有的三路質量流量計，精度高可靠性強，可以準確混合1~3路氣體，操作面板采用數字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
| 真 空 管 式 爐 | 產品型號 | CY- O1200-50IIT | |
| 爐管材質 | 高純石英 | ||
| 爐管直徑 | 50mm（可選配60mm、80mm、100mm） | ||
| 爐管長度 | 1000mm | ||
| 爐膛長度 | 440mm | ||
| 加熱區長 | 200mm+200mm | ||
| 工作溫度 | 0～1100℃ | ||
| 控溫精度 | ±1℃ | ||
| 控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | ||
| 顯示模式 | LCD | ||
| 密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | ||
| 法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | ||
| 可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
| 供 氣 系 統 | 產品型號 | CY-3Z | |
| 氣體通道 | 3通道 | ||
| 測量部件 | 氣體質量流量計 | ||
| 測量量程 | A通道：0～100SCCM H2氣 | 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 | |
| B通道：0～300SCCM N2氣 | |||
| C通道：0～500SCCM Ar氣 | |||
| 測量精度 | ±1.0%F.S | ||
| 管道耐壓 | 3MPa | ||
| 工作壓差 | 50～300KPa | ||
| 連接管道 | 304不銹鋼 | ||
| 控制閥門 | 304不銹鋼針閥 | ||
| 接口規格 | 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | ||
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
| 排 氣 系 統 | 機械泵 | 旋片泵 | |
| 抽氣速率 | 1.1L/S | ||
| 排氣接口 | KF16 | ||
| 真空測量 | 電阻規 | ||
| 極限真空 | 1.0E-1Pa | ||
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
| 抽氣接口 | KF16 | ||
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