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目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統>> CY-CVD1200-60-200×200×200-3TH-Q1200℃三路供氣低真空度旋轉CVD系統

1200℃三路供氣低真空度旋轉CVD系統

  • 1200℃三路供氣低真空度旋轉CVD系統
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 品牌 CYKY
  • 型號 CY-CVD1200-60-200×200×200-3TH-Q
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 鄭州市
屬性

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更新時間:2025-07-30 21:39:16瀏覽次數:41評價

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1200℃三路供氣低真空度旋轉CVD系統采用高純石英制作爐管。旋轉裝置為風冷法蘭,摩擦傳動,傾角(0-15°)任意可調。管式爐三個溫區分別由精密控溫儀表獨立控溫,通過調節各個溫區的溫度,該管式爐可以在加熱區內形成三段溫度梯度或是形成較長的恒溫區域。1200℃三路供氣低真空度旋轉CVD系統每個溫區均可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制爐管內的氣氛環境。

如果您需要保持物料的單粒結構(如在干燥或煅燒物料時),旋轉管式爐是您的理想選擇。爐管持續不斷的旋轉運動和氣氛保護的結合應用能使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果為您帶來理想的處理結果。

該設備主要應用領域為:粉末冶金、陶瓷、耐火材料、鋰電正負極材料、新能源等行業顆粒粉末燒成、煅燒,測定材料。

1200℃三路供氣低真空度旋轉CVD系統技術參數:

Max功率

4.5kw

爐管材質

高純石英

爐管直徑

兩端60mm,中間100mm

爐管長度

1400mm

爐膛長度

600mm

加熱區長

200mm+200mm+200mm

工作溫度

01100

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

高亮數字顯示

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

傾斜角度

0~15°

轉速

0~20

產品型號

CY-3F

氣體通道

3通道

測量部件

氣體浮子流量計

測量量程

A通道:0100ml/min    H2

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕蛻舻木唧w要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

B通道:16160ml/min    N2

C通道:25250ml/min    Ar

測量精度

±2.0%

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50300KPa

連接管道

304不銹鋼

控制閥門

304不銹鋼針閥

接口規格

進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

機械泵

旋片泵

抽氣速率

1.1L/S   

排氣接口

KF16

真空測量

電阻規

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

抽氣接口

KF16

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