目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-CVD1200-50-400-3TH-Q1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣低真空CVD系統(tǒng)
1200單溫區(qū)3路供氣低真空CVD系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計，精度高可靠性強，可以準確混合1~3路氣體，操作面板采用數(shù)字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術人員定制任意數(shù)量的氣路。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、質(zhì)量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。
技術參數(shù)：
真 空 管 式 爐 產(chǎn)品型號 CY-CVD1200-50-400-3TH-Q 爐管材質(zhì) 高純石英 爐管直徑 50mm（可選配60mm、80mm、100mm） 爐管長度 800mm 爐膛長度 440mm 加熱區(qū)長 400mm 恒溫區(qū)長 200mm 工作溫度 0～1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號 CY-3Z 氣體通道 3通道 測量部件 氣體質(zhì)量流量計 測量量程 A通道：0～100SCCM H2氣 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 B通道：0～300SCCM N2氣 C通道：0～500SCCM Ar氣 測量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50～300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統(tǒng) 機械泵 旋片泵 抽氣速率 1.1L/S 排氣接口 KF16 真空測量 電阻規(guī) 極限真空 1.0E-1Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 抽氣接口 KF16
免責聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術參數(shù)等)，僅供參考。可能由于更新不及時，會造成所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異，請與本公司銷售人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，本公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請您見諒。
1
化工儀器網(wǎng)