目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統>> CY-CVD1500-60-300-3TH-Q1500℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統
1500℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。
爐管采用高純氧化鋁制成，爐體采用一體式設計，的設計能夠保證系統在1500℃運行穩定**，加熱元件采用高品質硅碳棒，能夠達到1500℃高溫，若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。
系統所配有的三路浮子流量計，可以混合1~3路氣體，較為準確的配制出實驗所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監測氣體壓力及混合槽壓力。
技術參數：
| 真 空 管 式 爐 | 產品型號 | CY-CVD1500-60-300-3TH-Q | |
| 爐管材質 | 高純氧化鋁 | ||
| 爐管直徑 | 60mm(可選配50mm、80mm、100mm) | ||
| 爐管長度 | 1000mm | ||
| 爐膛長度 | 400mm | ||
| 加熱區長 | 300mm | ||
| 恒溫區長 | 150mm | ||
| 工作溫度 | ≤1450℃ | ||
| 控溫精度 | ±1℃ | ||
| 控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | ||
| 顯示模式 | LCD | ||
| 密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | ||
| 法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | ||
| 可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
| 供 氣 系 統 | 產品型號 | CY-3F | |
| 氣體通道 | 3通道 | ||
| 測量部件 | 氣體浮子流量計 | ||
| 測量量程 | A通道：0～100ml/min H2氣 | 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。
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| B通道：16～160ml/min N2氣 | |||
| C通道：25～250ml/min Ar氣 | |||
| 測量精度 | ±2.0% | ||
| 管道耐壓 | 3MPa | ||
| 工作壓差 | 50～300KPa | ||
| 連接管道 | 304不銹鋼 | ||
| 控制閥門 | 304不銹鋼針閥 | ||
| 接口規格 | 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | ||
| 排 氣 系 統 | 機械泵 | 旋片泵 | |
| 抽氣速率 | 1.1L/S | ||
| 排氣接口 | KF16 | ||
| 真空測量 | 電阻規 | ||
| 極限真空 | 1.0E-1Pa | ||
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
| 抽氣接口 | KF16 | ||
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