真空腔室

結構：圓筒形+上蓋

材質：304上等不銹鋼

腔體尺寸:Φ640x320mm

電源：

AC220V /三相380V 30KW

控溫

低壓和大電流直流電源，熱絲溫度*高可達2500°C。  

沉積基體表面：600℃左右

腔體壁溫度： <60℃

控溫精度：0.1℃ 

測溫系統

遠紅外光學測溫+熱電偶監測

熱絲裝置：

恒定張力陣列幾何形狀，鉬絲，銅饋通，鎢絲結合處理，方便調整與維護

觀察窗

主觀察窗φ190mm 輔觀察窗φ45mm

水路系統

水冷電極、水冷腔體、水冷熱絲輔助部件

總水管接口尺寸 40mm

冷卻水流量：60L/MIN

真空系統

雙基旋片泵+高真空閥門組合（**閥，流量感應器，調節閥……） ，數顯復合真空計，

*大抽氣速度：65 m3/h

設備保壓：停泵 12 小時候后，真空≤10Pa；

抽氣接口 CF40    排氣接口KF16

操作系統：

PLC+觸摸屏人機界面半自動控制系統；

**系統

報警及保護：對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施；完善 的邏輯程序互鎖保護系統；

占地尺寸

(主機）L1800×W1150×H1550(mm)。

整機重量

600kg