目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>培育鉆石>> CY-MPCVDCVD培育鉆石設備
CVD培育鉆石是一種由直徑10到30納米鉆石晶體合成的多結晶鉆石，它的化學成分為碳，運用的設備模擬大自然中鉆石生長環境，通過化學氣象沉積技術（CVD）栽種而成.
MPCVD單晶金剛石沉積設備
適合的應用:
化學氣相沉積法制備高品質單晶金剛石
化學氣相沉積法制備高品質多晶金剛石自支撐厚膜
化學氣相沉積法制備高品質多晶金剛石薄膜
化學氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜
產品特點：
本產品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設備，功率密度高；
水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔，保證系統能長時間穩定工作；
基片溫度以微波等離子體自加熱方式達到；
真空測量儀表采用全量程真空計，可**測量本底真空和工作氣體壓強；
真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為1Pa)，系統可自動控制沉積氣壓；
配備冷卻水循環系統，確保裝置高功率下可長時間**穩定運行；
系統帶15寸觸摸屏，PLC自動控制，可設置溫度或氣壓恒定，可保存復用多達20套工藝文件；
全自動工藝控制模塊，可以穩定可靠地制備高品質金剛石薄膜和晶體
技術指標與特性：
| 微波系統（法國Sairem 微波源） | 微波頻率 | 2450±25MHz |
| 輸出功率 | 0.6kw~6kw 連續可調 | |
| 微波調諧 | 三銷釘調配器，模式轉換天線 | |
| 微波反射保護 | 環形器，水負載 | |
| 微波工作模式 | TM013 | |
| 微波泄漏 | ≤ 2 mw/cm2 | |
| 真空系統 | 工作氣壓范圍 | 10~250Torr |
| 自動穩壓范圍 | 40~250Torr | |
| 真空泵 | 4.4L/s 旋片式真空泵 | |
| 系統漏率 | <1.0x10-9 Pa?m3 /秒 (通過氦質譜檢漏儀檢測) | |
| 腔體保壓能力 | 每24 小時壓升小于0.2 乇 | |
| 本底極限真空 | 0.1Pa（7.5 x10-4 Torr) | |
| 真空測量 | 品牌薄膜規 | |
| 真空反應腔 | 反應腔材料及結構 | 雙層水冷不銹鋼反應腔 |
| 真空密封 | 金屬密封+氟膠圈密封(取樣門) | |
| 反應腔內徑 | 直徑140mm | |
| 樣品臺窗口 | 105x50mm 長方形端口，帶O 形氟橡膠圈密封的前門 | |
| 觀察窗口 | 兩個端口，CF35 大口徑，180°分布 | |
| 測溫窗口 | 兩個窗口水平角度25~30°，180°分布；窗口方便從反應腔上部的 斜角向下檢測樣品臺的溫度 | |
| 樣品臺 | 電動升降式水冷基片臺 直徑100mm，高度可調范圍0～70mm | |
| 鉬基片臺直徑≥50mm，在5000w, 180Torr 工作狀態，等離子體火球可覆蓋 整個基片臺 | ||
| 基片臺溫度 250～1400℃（取決于工藝參數） | ||
| 氣路 | 選用日本進口流量計及流量控制閥 | |
| 系統自帶四路MFC | ||
| 四路MFC *大流速：H2: 1000sccm，CH4：100sccm，O2：20sccm，N2：2sccm | ||
| 測溫系統 | 德國Raytek 紅外測溫系統，測溫范圍：300~1300 攝氏度 | |
| 系統軟件 | 配置PLC 控制的15“觸摸顯示屏，用戶操作界面友好，所有操作均可在觸摸 屏上完成 | |
| 系統支持工程師和操作員兩個用戶級別，提供用戶權限管理功能 | ||
| 系統自帶缺水，缺氣，電源缺相，火球跳變，過溫過載，打火等自動保護 | ||
| 可設置多達10 套工藝配方，每套配方有40 行數據，生產流程通過工藝配方自 動控制，工藝數據可通過U 盤備份導出 | ||
| 系統自帶全自動抽氣，點火，升溫，降溫等預設流程，用戶操作簡便 | ||
| 全自動溫度控制，氣壓控制，極大減輕系統操作員的工作量 | ||
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