目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>快速退火爐>> CY-RTP1000-Φ200-300-V-T鹵素燈RTP立式快速退火爐
鹵素燈RTP立式快速退火爐是一款8寸片快速退火爐，采用革新的加熱技術，可實現真正的基底溫度測量，不需要采用傳統快速退火爐的溫度補償，溫度控制**，溫度重復性高，客戶包括國際上許多半導體公司及科研團隊，是半導體制程退火工藝的理想選擇。
產品名稱 鹵素燈RTP立式快速退火爐 產品型號 CY-RTP1000-Φ200-300-V-T 基片尺寸 8英寸 基片基座 石英針（可選配SiC涂層石墨基座） 溫度范圍 150-1250℃ 加熱速率 10-150℃/S 溫度均勻性 ≤±1.5% (@800℃, Silicon wafer) ≤±1.0% (@800℃, Substrate on SiC coated graphite susceptor) 溫度控制精度 ≤ ±3℃ 溫度重復性 ≤ ±3℃ 真空度 5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr 氣路供應 標準1路N2吹掃及冷卻氣路，由MFC控制（*多可選3路） 退火持續時間 ≥35min@1250℃ 溫度控制 快速數字PID控制 尺寸 900mm*650mm*1600mm
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