目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>熱蒸發(fā)鍍膜儀>> OLED有機無機蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)配手套箱
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 文體,地礦,能源,建材/家具,鋼鐵/金屬 |
簡單介紹：
OLED有機無機蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)配手套箱以金屬/有機源蒸發(fā)為主體，適用于實驗室制備金屬單質(zhì)、氧化物、介電質(zhì)、半導體膜等詳情介紹：
一、設(shè)備性能：
OLED有機無機蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)配手套箱以金屬/有機源蒸發(fā)為主體，適用于實驗室制備金屬單質(zhì)、氧化物、介電質(zhì)、半導體膜等，也可用作教學及生產(chǎn)線前期工藝試驗等，整套設(shè)備操作簡便，綜合功能多，擴展空間大，適合及滿足大專院校的教學與科研工作。
二、設(shè)備基本結(jié)構(gòu)：
鍍膜設(shè)備由真空室腔體，金屬/有機源系統(tǒng)，樣品臺系統(tǒng)，真空泵機組，膜厚檢測系統(tǒng)，設(shè)備機架，電控系統(tǒng)組成，真空室前門可與手套箱對接，采用一體化的設(shè)計方案，整套設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、布局簡潔，避免實驗設(shè)備外觀凌亂的現(xiàn)象。
適用于制備金屬電極、鈣鈦礦太陽能電池、OLED、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于于小批量及中試生產(chǎn)或大批量生產(chǎn)前的試驗工作。
設(shè)備兼容有機/無機蒸發(fā),可實現(xiàn)多元分蒸或共蒸獲得多層膜、復(fù)合膜，性能穩(wěn)定，尤其溫控有機蒸發(fā)源不僅角度可調(diào)，均勻性好，同時可通過進口膜厚儀聯(lián)動控制實現(xiàn)速率**控制、摻雜；樣品臺可升降調(diào)整源-基片距離，有效節(jié)約貴重材料，降低實驗成本；
ATTO10全自動高真空電阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)采用windows操作平臺和cotrl2000控制系統(tǒng)，采用IPC+network技術(shù)，實現(xiàn)整機主要部件的參數(shù)化設(shè)置、實施實時監(jiān)控及故障智能診斷以及膜厚全自動監(jiān)控，有自動和手動控制兩種模式。除取放樣品外，其它操作過程全部在PC上使用軟件控制；提供真空系統(tǒng)、工藝設(shè)置、充放氣系統(tǒng)等友好人機操作界面；在工控機上可通過配方設(shè)置參數(shù)，實現(xiàn)對程序工藝過程和設(shè)備參數(shù)的設(shè)置、儲存和打印。
膜厚全自動監(jiān)控系統(tǒng)，自動設(shè)計、工藝讀入、參數(shù)設(shè)置、實時監(jiān)控等功能，實現(xiàn)整個鍍膜過程的全自動控制。可以設(shè)置數(shù)十層甚至上百層的膜層控制，簡單實現(xiàn)單層或多層共蒸。
三、設(shè)備技術(shù)指標：
產(chǎn)品名稱 | 帶手套箱六源蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | CY-EVH400-Ⅵ-HHHOOOO-SS-STX | |
真空室腔體 | 外形 | 上等 304 不銹鋼 D 形真空室腔體 1 套，真空室內(nèi)部尺寸 D400*480mm，前后開門，后門采用鉸鏈式方門，方便清洗真空腔體，真空室內(nèi)部調(diào)試，維修以及取放物品，前門采用橫拉方門，前后門各配 DN100 視窗 1 套； |
底部 | 金屬源接口 2 套，有機源接口 4 套， 復(fù)合分子泵接口 1 套，CF25照明接口 2 套以及膜厚探頭接口 3 套； | |
頂部 | 樣品臺接口 1 套，電動擋板接口 1 套，高真空氣動擋板閥接口 1 套 | |
左側(cè) | 超高真空氣動擋板閥接口 1 套 | |
金屬/有機源系統(tǒng) | 金屬蒸發(fā)源 | 金屬蒸發(fā)源 2 套:水冷銅電極 2 組，兼容蒸發(fā)舟（鎢、鉬和鉭舟）和螺旋絲，配氣動擋板，1KW 直流恒流電源 1 臺（數(shù)字顯示），電流調(diào)整精度 1A（微調(diào)），功率滿足常見的金屬以及金屬氧化物的蒸鍍； |
有機蒸發(fā)源 4 套 | 有機蒸發(fā)源 4 套:4CC（4ml） 石英舟，溫控電源 2 臺（溫控表顯示精度 0.1℃），溫度區(qū)間：室溫-500℃（控溫精度±1℃），配氣動擋板； | |
隔板 | 蒸發(fā)源相互獨立，隔板分隔，避免交叉污 | |
樣品臺系統(tǒng) | 基片旋轉(zhuǎn) | 轉(zhuǎn)速 0～30 轉(zhuǎn)／分連續(xù)可調(diào) |
基片升降 | 電動升降，襯底與蒸發(fā)源間距 200-300mm 通過觸摸屏連續(xù)可調(diào)； | |
樣品臺 | 圓形托盤 1 套，一次可放置8片20×20mm 基片 | |
基片擋板 | 電動擋板 | |
真空泵機組 | 1) 600L/s分子泵 1 臺； 2) 8L/s雙級泵 1 臺 3) CF150 氣動超高真空插板閥 1 臺； 4) CF40 超高真空氣動擋板閥 1 臺； 5) KF16 高真空氣動擋板閥 1 臺； 6) KF40 高真空氣動擋板閥 1 臺； 7) KF40 真空電磁充氣閥 1 臺； 8) KF40 泵閥連接軟管 2 套，KF40 三通 1 套； | |
膜厚檢測系統(tǒng) | 膜厚儀 | 三通道石英晶振膜厚監(jiān)測儀 1 套； |
膜厚探頭 | CF35 水冷膜厚探頭 3 套 | |
設(shè)備機架 | 1) 40 碳鋼方管焊接機架 1 套，表面噴塑； 2) 萬向輪 4 件，移動調(diào)整； 3) M16 地腳 4 件，鎖緊定位 | |
電控系統(tǒng) | 金屬源蒸發(fā)源氣動擋板 | 2套 |
金屬蒸發(fā)源電源1kw | 1套 | |
有機源蒸發(fā)源氣動擋板 | 4套 | |
有機蒸發(fā)源電源 | 2套（1帶2） | |
烘烤照明電源 | 1 臺 | |
樣品臺電動擋板 | 1套 | |
總控制電源 | 1套 | |
PLC 控制 | 配觸摸屏 | |
手套箱 | 腔體尺寸 | L1200* W750* H900mm |
手套 | 3只 | |
大過渡艙 | 內(nèi)徑360mm, 長 600mm | |
小過渡艙 | 內(nèi)徑150mm, 長300mm | |
其他技術(shù)參數(shù) | 1) 缺相保護、誤操作保護，聯(lián)動互鎖以及一鍵真空啟停等功能； 2) 供電：～220V 兩相供電系統(tǒng)（峰值 3KW）； 3) 供水：小型冷水機，冷卻水溫度 5℃～35℃，工作環(huán)境溫度：10℃～40℃； 4) 供氣：小型無油氣泵，提供 0.2-0.3MPa 氣壓，驅(qū)動氣動閥門； 5) 極限真空：優(yōu)于 6×10-5Pa，大氣至 6×10-4Pa 時間小于 35 分鐘（充干燥氮氣），關(guān)機 12 小時真空度≤10Pa。 | |
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