目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統>> CY-PECVD-240T-SS等離子增強化學氣相沉積設備
| 產品名稱 | 桌面式4英寸平板等離子體增強化學氣相沉積PECVD | |
| 產品型號 | CY-PECVD-240T-SS | |
| 供電電源 | AC220V 50Hz | |
| 射頻電源 | 信號頻率 | 13.56MHz |
| 功率輸出范圍 | 0~500W (還可選擇150W, 300W, 1000W等) | |
| 工作腔體 | 加熱溫度 | RT-500℃（還可選擇600℃，800℃，1000℃等） |
| 樣品臺尺寸 | Φ100mm（兼容4英寸及以下樣品） | |
| 樣品臺轉速 | 1-20rpm 可調 | |
| 腔體材質 | 不銹鋼 | |
| 觀察窗 | Φ60mm, 帶擋板 | |
| 供氣系統 | 通道數 | 3 （可根據需要選擇其他通道數，其他氣體種類，其他測量范圍） |
| 測量單位 | 質量流量計 | |
| 測量范圍 | A 通道: 0～200SCCM for O2 | |
| B通道: 0～200SCCM for N2 | ||
| C通道: 0～200SCCM for Ar | ||
| 真空系統 | 前級泵抽速 | 1.1L/s |
| 分子泵抽速 | 60L/s | |
| 真空測量 | 復合真空計 | |
| 真空度 | 5.0*10-3Pa | |
| 水冷機 | 水流速 | 10L/min |
| 冷卻功率 | 50W/℃ | |
1
化工儀器網