目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統>> CY-CVD1200-60-455-3TH-Q全自動CVD滑軌爐
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 地礦,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天 |
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簡單介紹:
全自動CVD滑軌爐系統由雙溫區滑軌爐、質子流量控制系統、真空系統三部分組成。雙溫區滑軌爐可移動并可實現快速升降溫;四路質子流量計能夠準確控制系統的供氣;真空泵可實現對管式爐快速抽真空。詳情介紹:
全自動CVD滑軌爐設備操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環境下,得到快速的降溫速率。
適用于高校、科研院所、工礦企業做石墨烯的生長、高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火,尤其適合需要快速升降溫的CVD試驗。
技術參數:
項目 | 明細 |
供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機功率 | 5KW |
工作溫度 | ≤1100℃ |
加熱速率 | 建議10℃/min |
爐管尺寸 | O.D.50mm-220mm-220mm(加熱區)-1200mm管長 |
控溫精度 | 0.1℃ |
溫區 | 雙溫區 |
混氣系統 | 4路質子流量計:100sccm1個;200sccm1個;500sccm2個 |
真空泵 | 雙極旋片真空泵 |
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