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產品簡介
詳細介紹
韓國Line tech M20系列氣體質量流量計具有精度高、響應速度快、重復性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動、工作壓力范圍寬等特點（可以在高壓或真空條件下工作），其操作使用方便，可任意位置安裝調試，并更好的與計算機連接實現自動控制。典型的場合包括：電子工藝設備，如、氧化、CVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。
韓國Line tech M20系列氣體質量流量計主要用于測量以下介質,高爐煤氣流量計,焦爐煤氣質量流量計,煤氣,空氣,氮氣,乙炔,光氣,氫氣,天然氣,氮氣,液化石油氣,過氧化氫,煙道氣,甲烷,丁烷,氯氣,燃氣,沼氣,二氧化碳,氧氣,壓縮空氣,氬氣,甲苯,苯,二甲苯,硫化氫,二氧化硫,氨氣。
韓國Line tech M20系列氣體質量流量計規(guī)格：
量程：從10SCCM-150SLPM
響應時間：2秒
精度：±1%FS
重復性：±0.25%FS
輸出：0-5VDC或4-20mA
耐壓：小于90bar
韓國Line tech M20系列氣體質量流量計氣路接頭可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型：
a.. 1/8＂ Compress
b. 1/4＂ Compress
c. 3/8＂ Compress
d. 1/4＂ VCR
e. 1/4＂ VCO
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