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產品簡介
詳細介紹
韓國LINE TECH M30系列氣體質量流量控制器廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。
韓國LINE TECH M30系列氣體質量流量控制器主要參數：
流量范圍： 0.005-125（slpm）
響應時間： ≤2
精 度： ≤1%
重 復 性： ±0.25
輸出信號： 0-5vdc或4-20mA
供電電壓： 15-28vdc
溫度范圍： 0-50℃
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