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目錄:科睿設備有限公司>>半導體材料表征>> 俄歇電子能譜儀(在線表面分析)-材料表征

俄歇電子能譜儀(在線表面分析)-材料表征
  • 俄歇電子能譜儀(在線表面分析)-材料表征
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  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 廠商性質 代理商
  • 所在地 上海市
屬性

應用領域:電子/電池

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更新時間:2025-02-27 11:48:00瀏覽次數:1544評價

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俄歇電子能譜儀(在線表面分析)-材料表征
The microCMA is a compact (2.75“ CF mount) cylindrical mirror type Auger (AES, Auger Electron Spectroscopy) analyzer.

俄歇電子能譜儀(在線表面分析)-材料表征

簡介:

microCMA是一種緊湊型(2.75“CF安裝)柱面鏡式俄歇(AES,俄歇電子能譜)分析儀。

microCMA是30年來投入市場的*創新性的俄歇分析儀。

優異性能:

2.75英寸法蘭安裝CMA,內置3kV同軸電子槍。這兩項功能的結合使microCMA在競爭中脫穎而出。

microCMA安裝在2.75英寸法蘭上,這意味著它可以添加到大多數腔室,而無需向腔室添加另一個端口(大多數腔室有額外的2.75英寸端口可用)。

小型化還意味著,只需一個T形管和一個小型離子泵,而不是傳統的大型腔室,就可以制造出一個完整的系統。

同軸電子槍使樣品(彈性峰)易于對準,也無需電子槍(電子源、電源和法蘭)。


俄歇電子能譜儀(在線表面分析)-材料表征

技術參數:

緊湊型2.75“CF法蘭安裝

同軸3kV電子槍

CeBix燈絲(運行溫度低于Lab6)

USB控制

ASCII命令

經驗證的CMA設計


應用領域:

表面分析

螺旋鉆/AES

薄膜分析

冶金學

半導體

原位

分子束外延

超高真空




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