Verifire HDX ZYGO白光干涉儀：高精度光學測量
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 北京儀光科技有限公司
- 品牌 ZYGO/翟科
- 型號 Verifire HDX
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/8/20 9:45:40
- 訪問次數 10
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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 15萬-20萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,能源,建材/家具,汽車及零部件,綜合 |
ZYGO白光干涉光學輪廓儀 ZYGO白光干涉儀ZYGO白光干涉儀采用閉環反饋壓電陶瓷和高線性電容傳感器，確保測量的穩定性和重復性。設備支持多種物鏡選擇，適用于不同放大倍率和工作距離的需求。設備操作簡便，支持多種軟件分析工具，便于用戶快速完成測量和分析 ZYGO白光干涉儀：高精度光學測量
產品性能
•測量范圍：0.1nm至10mm（垂直方向）
•橫向分辨率：最高可達0.5μm
•重復性：優于0.1%
•支持多種測量模式：臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等
用材與結構
儀器主體采用高穩定性鋁合金框架，光學部件選用低熱膨脹系數玻璃，確保長期測量穩定性。載物臺采用防震設計，減少環境振動干擾。
參數表
型號 | 垂直分辨率 | 最大掃描范圍 | 適用樣品 |
|---|---|---|---|
ZYGO-200 | 0.1nm | 1mm | 光滑表面、薄膜 |
ZYGO-500 | 0.2nm | 10mm | 粗糙表面、微結構 |
用途
•半導體晶圓檢測
•光學鏡面質量分析
•MEMS器件形貌測量
•精密機械加工表面評估
ZYGO白光干涉儀：高精度光學測量 ZYGO白光干涉光學輪廓儀
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