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Verifire HDX ZYGO白光干涉儀：高精度表面測(cè)量
- 公司名稱 北京儀光科技有限公司
- 品牌 ZYGO/翟科
- 型號(hào) Verifire HDX
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/8/20 9:38:51
- 訪問次數(shù) 11
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西班牙Sensofar共聚焦白光干涉儀、澤攸臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析、徠卡等光學(xué)顯微鏡、RMC超薄切片機(jī)、Linkam冷熱臺(tái)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 15萬(wàn)-20萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,建材/家具,汽車及零部件,綜合 |
ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀 ZYGO白光干涉儀采用*的白光干涉技術(shù)，通過測(cè)量光程差來獲取樣品表面的三維形貌和粗糙度信息。其非接觸式測(cè)量方式確保了樣品的完整性和測(cè)量的可靠性。設(shè)備支持多種樣品臺(tái)和自動(dòng)聚焦功能，便于靈活調(diào)整測(cè)量參數(shù) ZYGO白光干涉儀：高精度表面測(cè)量
產(chǎn)品性能
•測(cè)量范圍：0.1nm至10mm（垂直方向）
•橫向分辨率：最高可達(dá)0.5μm
•重復(fù)性：優(yōu)于0.1%
•支持多種測(cè)量模式：臺(tái)階高度、粗糙度、薄膜厚度等
用材與結(jié)構(gòu)
儀器主體采用高穩(wěn)定性鋁合金框架，光學(xué)部件選用低熱膨脹系數(shù)玻璃，確保長(zhǎng)期測(cè)量穩(wěn)定性。載物臺(tái)采用防震設(shè)計(jì)，減少環(huán)境振動(dòng)干擾。
參數(shù)表
型號(hào) | 垂直分辨率 | 最大掃描范圍 | 適用樣品 |
|---|---|---|---|
ZYGO-200 | 0.1nm | 1mm | 光滑表面、薄膜 |
ZYGO-500 | 0.2nm | 10mm | 粗糙表面、微結(jié)構(gòu) |
用途
•半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)
•光學(xué)鏡面質(zhì)量分析
•MEMS器件形貌測(cè)量
•精密機(jī)械加工表面評(píng)估
ZYGO白光干涉儀：高精度表面測(cè)量 ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀
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