定制運(yùn)動(dòng)臺是XYZT 4軸一體式精密定位平臺，XYZ采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，選用精密交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的性能和定位精度，XY軸空載截止頻率可達(dá)120Hz以上，具備很好的速度穩(wěn)定性，在4軸疊加的臺面上方利用干涉儀5K的采樣頻率測試CUBE-4 勻速段位置誤差，每0.5mm 位置動(dòng)態(tài)跟隨誤差STD標(biāo)準(zhǔn)差小于50nm。Z軸空載截止頻率可達(dá)200Hz以上。Theta軸采用旋轉(zhuǎn)直驅(qū)電機(jī)，配備圓形導(dǎo)軌和光柵，兼具高轉(zhuǎn)速和高精度。此外，Theta軸采用下沉隱藏式設(shè)計(jì)，使得CUBE-4整體高度較低，工作點(diǎn)下降有利于實(shí)際應(yīng)用中提高定位精度。

此外，Z軸可在30ms內(nèi)步進(jìn)100μm，整定到±50nm。CUBE-4是一款兼具點(diǎn)到點(diǎn)的靜態(tài)精度，同時(shí)具備非常突出的動(dòng)態(tài)精度，可以適應(yīng)對動(dòng)態(tài)誤差要求嚴(yán)格的生物或者晶圓檢測掃描應(yīng)用，Z軸可以根據(jù)傳感器工作距高度實(shí)時(shí)高速調(diào)整，解決客戶的運(yùn)動(dòng)控制難題。

CUBE-4系列四軸平臺動(dòng)態(tài)性能測試

干涉儀5k采樣頻率動(dòng)態(tài)測試：XY勻速段位置跟隨誤差，每0.5mm STD標(biāo)準(zhǔn)差小于50nm

CUBE-4系列四軸平臺最小步進(jìn)測試

Z軸步進(jìn)100μm ，30ms內(nèi)整定到±50nm

定制運(yùn)動(dòng)臺備注

（1）平行或垂直于楔形塊方向測量；

（2）空載測試；

（3）沿軸線方向受力；

（4）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（5）默認(rèn)測試點(diǎn)位置為臺面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（6）其他行程可定制。