位移臺是Z/Theta 兩軸一體式精密定位平臺，Z軸利用雙直線電機驅動，采用雙氣缸配重，可以根據負載重量靈活調整氣壓。Z軸選用精密交叉滾柱導軌，具備非常優秀的性能和定位精度，空載截止頻率最大可達100Hz以上，具備很好的速度穩定性。Theta軸采用旋轉直驅電機，配備圓形導軌和光柵，兼具高轉速和高精度。此外，Theta軸采用下沉隱藏式設計，使得ZR100整體高度較低，工作點的下降有利于保證實際應用中的精度指標。

位移臺是一款兼具點到點的靜態定位精度，同時具備非常突出的動態精度，可以適應對動態跟隨誤差要求嚴格的生物檢測或者晶圓檢測掃描應用。Theta軸采用32mm中空設計，可以用于白光共焦傳感器通過中空進行雙面檢測應用，Z軸可以根據傳感器聚焦高度實時高速調整，全面解決客戶的運動控制難題。

ZR100平臺最小步進測試

5nm最小步進（ASH反饋選項，配置線性放大器）

0.000027°（0.1角秒）最小步進測試（實驗室環境，配置線性放大器）

備注

（1）空載，需配置相應功率的放大器；

（2）適配-AS反饋，線性放大器；

（3）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平臺實際負載重量可調；

（5）Theta軸連續旋轉氣滑環配置可定制。