INFICON英?？?BAG302 壓力熱電離真空計

INFICON英?？?BAG302 壓力熱電離真空計

BAG302

熱電離真空計BAG302

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INFICON 單 Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG302 涵蓋從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的廣泛測量范圍。緊湊型一體化熱電離真空計 BAG302 能夠輕松地更換雙絲極傳感器、內置 OLED 顯示器、設定點繼電器和對數線性模擬輸出以及集成 RS485 數字接口，提高了集成靈活性。這些功能配以堅固的設計，使 BAG302 為其自身的基本壓力測量儀器帶來經濟且可重復的過程，并提供高價值/低擁有成本的選擇。

好處

測量范圍從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）

雙標準長使用壽命氧化釔銥絲

一體式主動測量儀，內置顯示器、設定點、模擬輸出和標準集成式 RS485 數字接口

帶鍵盤的明亮的數字 OLED 顯示屏，簡化設置、操作和編程

用戶可編程的設定點繼電器

用戶可編程的顯示器單位：mbar、Torr 或 Pa

用戶可選的發射電流自動設換范圍

機械強度和堅固性

各種法蘭的選擇

易于更換的傳感元件

合規和標準：CE、RoHS

直接取代 Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® 模塊 – 包括軟件命令在內的相同控制功能 (RS485)（Granville-Phillips® 和 Micro-Ion® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注冊商標）

典型應用

對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

工業鍍膜

低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

規格

Measurement range (air, O2, CO, N2) mbar

Torr

Pa 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2

1 x 10-9 ... 5 x 10-2

1.3 x 10-7 ... 6.7 

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零件編號

下載

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手冊

3D Step Files

該產品被用于以下市場

分析儀器

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電池

從電極生產到生產線終端EOL終端的測試

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顯示器

INFICON匯聚 科技，實現最高質量的顯示器產品

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能源

傳統的石油和天然氣生產在過去幾十年中出現了需求的增長，并被發展中國家的人口增長、城市化和中產階級的消費所推動。

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工業制造

其中，真空技術大多用于保證清潔

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