進口 INFICON英福康 PPG570 壓電組合真空計
參考價 | ¥ 6555 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 山金工業(深圳)有限公司
- 品牌 INFICON/美國
- 型號 進口
- 產地 日本大阪
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/8/8 22:15:47
- 訪問次數 8
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產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合 |
---|---|---|---|
質量范圍 | 1-512 amu | 桿材料 | 鉬 |
最大工作壓力 (EM) 最大工作壓力 (EM) | 1 E-5 mbar | 軸離子源 | 3E-4 A/mbar |
橫束離子源 | 7E-5 A/mbar | 交叉光束氣密離子源 | 7E-5 A/mbar |
帶磁鐵的橫束離子源 | 7E-4 A/mbar | 帶磁鐵的交叉光束氣密離子源 | 7E-4 A/mbar |
網格離子源 | 2E-4 A/mbar | 分辨率(可調) | 0.3 - 7 amu |
最小可檢測部分壓力 | 1 E-15 mbar | 帶電子倍增器的分壓比 | < 0.5 ppb |
最高工作溫度 工作溫度(傳感器和電子元件) | 150 °C | 測量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
INFICON英福康 PPG570 壓電組合真空計
INFICON英福康 PPG570 壓電組合真空計
PPG570
皮拉尼真空計PPG570
大氣壓至中壓真空計+大氣壓開關
嵌入式選項
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新型 INFICON Pirani 壓電組合真空計 (PPG570) 基于現有的 MEMS(微機電系統)傳感器技術,該技術也用于我們的 PPG550 "ATM 至中真空 "真空計。
PPG570與PPG550的不同之處在于,它額外安裝了ATM傳感器,使PPG570可以用于傳統的負載鎖定應用。例如,在半導體行業或任何其他真空應用中,相對于大氣環境壓力的精確壓力測量非常重要。
在MEMS工藝中微型化的Pirani/Piezo組合技術能夠建造一個非常小的傳感器,從而節省空間,這使得測量設備的整體高度非常小成為可能。
除了高度低的優勢外,基于MEMS技術的皮拉尼還具有在高壓范圍內比傳統皮拉尼測量更深、更準確的優勢。與安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器相結合,皮拉尼真空計成為一個真正的寬范圍真空計,其測量范圍遠遠超過通常的1000mbar,也可延伸到大氣層。同時,MEMS壓電傳感器提供獨立于氣體類型的壓力測量,范圍為2 ...1333毫巴。上述技術的另一個優點是增加了對加速力和振動的抵抗力。
最后但并非最不重要的是,新的INFICON PPG570可以用來直接取代所謂的MKS Instruments MKS901P "MicroPirani™和壓電負載鎖真空壓力傳感器"。PPG570提供相同的連接器/引腳分配、模擬輸出和RS232/485數字通信協議兼容性。
優勢
2mbar以上的氣體類型獨立--允許任何氣體混合物的安全排放
大氣層的高精度和重現性--用于可靠、快速的大氣層壓力檢測
大氣層環境壓力測量 多
達3個固態繼電器
安裝方向的多樣性--為工具設計提供工程自由度
可選擇的模擬輸出信號,便于系統集成
數字接口RS232/RS485
能夠直接滴入替代MKS901P "MicroPirani™-和壓電式負載鎖真空壓力傳感器"。
合規性和標準。CE, EN, CSA, RoHS
典型應用
半導體負載鎖應用
在分析設備/質量分光計
中使用
物理氣相沉積
規格
Measurement range (N2) mbar 1x10-6 … 1333
Accuracy
1100 ... 1333 mbar % of reading 0.5
800 ... 1099 mbar % of reading 0.25
100 ... 800 mbar % of reading 0.5
2 ... 99.9 mbar % of reading 1
1 x 10-4 ... 1.99 mbar % of reading 5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar % of reading 25
Temperature compensation °C +10 … +50
Temperature measurement absolute accuracy °C +1.5 (0 … +80)
Supply voltage at the gauge V (dc) +12 … +30 ripple max. 1 Vpp
在此下載完整的規格
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