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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>干法工藝設備>干法清洗設備> Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機

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Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機

參考價 100000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準

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FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料學博士共同創辦的德國公司。基于 Science is international”的想法,“全球協同實驗室”成為三位博士追逐的夢想。

公司愿景是從科學家到科學家,科學開創美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導體技術、材料科學、生命科學等科研領域,始終秉承“前沿、專業、科學”的宗旨,將前沿技術引進到協同實驗室。我們的產品覆蓋了微納加工制程;材料科學的檢測、分析;生命科學成像,腦科學與行為認知等相關領域。作為全球科技前沿的儀器供應商,FIRSTNANO具有全球技術視野、優質供應體系、以及嚴格的質量管控系統,能為客戶提供前沿的技術解決方案。

公司服務的客戶領域廣泛,其中包括消費電子、航空、航天、醫藥技術、半導體行業、光電子行業、高校和研究機構。

在成長的過程中,我們腳踏實地、奮勇向前。自2015年香港(中華區)公司成立以來,我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設立了分支機構。

我們真誠邀請業內英才加入FIRSTNANO TEAM,一起為夢想揚帆起航!

 

 

 

 

 

半導體儀器和電子產品耗材耗材

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機產品簡介

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機設計用于支持侵蝕性和腐蝕性工藝氣體。等離子室已被更耐化學腐蝕的藍寶石管所取代。真空密封設計和腔室材料的選擇已被優化,以支持等離子體內部的腐蝕性自由基。對于需要對石英腔室進行等離子體蝕刻的應用,SEMI-KLEEN 藍寶石是比傳統石英腔室等離子體源更好的選擇。

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機產品應用

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機已被用于存款薄膜,在原子層沉積系統中薄膜沉積之前清潔樣品表面,以及從金屬表面清潔碳和氧污染物。客戶的測試結果表明,SEMI-KLEEN 等離子體源僅需 2 秒的氫等離子體就可以去除 InGaAs 樣品中的碳和氧污染物。SEMI-KLEEN 藍寶石等離子體源可用于僅由渦輪泵或粗抽泵泵送的下游腔室。它可以在<0.5mTorr 到 2 Torr 以上的壓力范圍內工作。

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機






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