PVD備件清洗機是一款專用于物理氣相沉積（PVD）工藝設備關鍵部件清洗的自動化設備，旨在高效去除工件表面的油污、氧化物、顆粒及鍍膜殘留，確保PVD工藝的穩定性和鍍膜質量。以下是其核心特點與功能概述：

核心功能

多工藝組合清洗
集成超聲波清洗、噴淋沖洗、浸泡、慢拉脫水、熱風烘干等工藝，可針對不同污染物（如有機殘留、金屬微粒、氧化層）實現分層處理。例如，先通過酸性或堿性溶液浸泡溶解頑固雜質，再利用超聲波空化效應剝離微小顆粒，最后通過純水噴淋和慢提拉技術減少水痕殘留

自動化與智能化控制
采用PLC程序控制，支持觸摸屏操作，可預設多條清洗流程并自動切換。部分機型配備機械手上下料系統，實現全程無人化作業，提升效率并降低人為污染風險。

環保與節能設計
使用水基清洗劑或環保型溶劑，減少化學污染。設備采用全封閉式結構，配備廢氣抽排系統和正壓送風裝置，防止揮發性氣體外泄，同時避免外界粉塵二次污染。

高精度清洗效果
通過超聲頻率調節（如40kHz高頻清洗）和噴淋壓力控制，可清除微米級顆粒，滿足PVD腔體、靶材、載具等精密部件的潔凈度要求，確保鍍膜均勻性。

技術亮點

兼容多材質：適用于金屬、陶瓷、玻璃等PVD備件，支持定制化清洗液配方。

溫度與時間精準調控：加熱系統可設定清洗溫度，適應不同工藝需求。

安全防護：配備緊急停機、介質泄漏報警等功能，保障操作安全。

應用場景

廣泛應用于半導體、光學、五金工具、精密模具等行業，適用于PVD鍍膜前的腔體清潔、靶材預處理、載板維護等場景，尤其適合大批量連續生產環境135。