Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質量流量控制器

l 腐蝕性氣體。 與 30 多種純腐蝕性氣體和大多數制冷劑氣體兼容的接液材料。

l 用途廣泛且準確。 對于 128 種以上的氣體和 20 種自定義混合物，實時控制流量或壓力，具有 NIST 可追溯的精度至 ±（讀數的 0.4% + 滿量程的 0.2%）。

l 快速，多變量。 通電后的毫秒響應時間，以您選擇的工程單位控制質量流量、體積流量或壓力，并顯示瞬時流量、壓力和溫度讀數。

l 易于集成。 定制過程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業過程中

設備規格和定制選項

快速規格

MCDS 系列性能

l 量程范圍：0.5 SCCM 至 5000 SLPM

l 控制范圍：滿量程的 1% – 100%

l 精度，NIST 可溯源：±（讀數的 0.8% + 滿量程的 0.2%）

l 可選的高精度，NIST 可溯源：±（讀數的 0.4% + 滿量程的 0.2%）

l 重復性：滿量程的±0.2%

l 響應時間：最快 30 ms

l 預熱時間：<1 s

Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質量流量控制器

MCDS 系列工作條件

l 兼容氣體：多達 130 種預加載的可選氣體校準； 可使用 COMPOSER™ 定義的其他混合物

l 工作溫度：–10°C 至 +60°C

l 滿量程工作壓力：160 PSIA

l 最大壓差：75 PSID

l 耐壓：175 PSIA

l 用戶可選擇的參考條件（默認）：25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

設備范圍和完整規格

設備的定制范圍從 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM ，可控范圍為滿量程的 1% 到 100%。

設備特點

每個設備都包含

l 多參數測量：同時測量質量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

l 用戶可更改的測量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測量單位。

l 氣體可選性：從我們氣體列表中的 98 多種預加載 NIST 可溯源氣體校準中選擇您的工藝氣體。

l Gas Select COMPOSER™：使用我們的 Gas Select Composer™ 固件，定義多達 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物。

l 帶集成觸摸板的單色背光 LCD：使用背光顯示屏和控制配置以及用戶友好的集成觸摸板輕松讀取測量值。

l 可調節設定點斜率值以及設定點范圍限制：配置斜坡速率允許用戶快速或慢速控制變化過程，設定點范圍限制可以防止無意的設定點更改帶來的影響。

l 可調節的標準溫度和壓力 (STP) 條件：快速更改參考條件，無需重新校準。

l 閥門開合：利用警報快速排放系統或根據需要停止所有流量。

標配 | 免費

l 流量累加器和批次控制：每 1 毫秒匯總一次質量流量，以便隨著時間的推移精確跟蹤總流量，并使用批次控制來分配精確的體積。

購買時的要求 |另外費用

l 可選的集成電位器控制：使用集成電位器只需轉動旋鈕即可調整設定點。

設備自定義選項

構建和性能選項

l 通訊協議：模擬、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS

l 顯示器：背光單色或彩色； 集成或面板安裝

l 過程連接：NPT, SAE, AN, BSPP/G, compression, VCR, or VCO fittings

l 接液材質：Viton, FFKM, EPDM, Silicone

l 校準：高精度； 自定義校準點

閥門選項和 PID 調節

您的質量流量控制器可以使用以下閥門選項之一進行定制，以確保在您預期的過程條件下獲得更佳性能。

l MCD：用于 20 SLPM 及以下流量范圍的小型比例控制閥

l 帶PCA的MCD：高性能比例控制閥，用于某些具有較高壓力的應用

l MCPD: 小比例控制閥(不適用于腐蝕性配置)

l MCRD：用于 50 SLPM 及以上流量的幾乎無摩擦的大型 Rolamite 比例閥

注意：某些氣體（包括 SO2 和 Cl2）需要帶有 PCA 名稱的 MCD。

定制 PID 閥門調節可確保在您的特定過程條件下發揮性能。

可選配件

配件|| 分開售賣

l 工藝端口配件和過濾器

l 電源

l 通信電纜和轉換電纜

l BB3 和 BB9 多點集線盒