化學(xué)式粒子計數(shù)器

端的微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學(xué)品，該粒子計數(shù)器需要經(jīng)過高度過濾，適用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化學(xué)式粒子計數(shù)器具有20 nm的粒子靈敏度，是目前靈敏度高的高純度工藝化學(xué)品粒子傳感器。

來自化學(xué)品輸送和包裝系統(tǒng)的廣泛數(shù)據(jù)證明，與其競爭產(chǎn)品相比，具有20nm靈敏度的PMS Chem 20傳感器統(tǒng)計出的顆粒濃度較大，數(shù)據(jù)具有統(tǒng)計意義。

化學(xué)式粒子計數(shù)器

性質(zhì)

• *的激光光學(xué)和檢測器使檢測化學(xué)物質(zhì)的靈敏度達(dá)到20 nm
• 車載化學(xué)流量計用于設(shè)定樣品流量
• *個能針對低和高折射率化學(xué)品進(jìn)行優(yōu)化的顆粒計數(shù)器，以提高產(chǎn)品性能：
  Chem 20傳感器，用于具有較低折射率的化學(xué)品
  Chem 20-HI傳感器，適用于硫酸和其他高指數(shù)化學(xué)品
• 內(nèi)部泄漏檢測會在內(nèi)部化學(xué)品泄漏時提供報警
• 低流量檢測器和報警器，以確保數(shù)據(jù)*
• 宏觀氣泡探測器用于保護(hù)傳感器性能
• 本地數(shù)據(jù)顯示

優(yōu)點

• 實時檢測20 nm PSL和9 nm Au微粒
• 檢測影響良率的粒子（競爭技術(shù)無法達(dá)到）
• 在掃描表面或得到數(shù)據(jù)之前，快速響應(yīng)粒子偏移
• 優(yōu)化化學(xué)品輸送系統(tǒng)，覆蓋從裝卸碼頭到加工點的整個過程
• 改善樣本的數(shù)據(jù)統(tǒng)計，加強過程工藝控制
• 針對不同潔凈度的產(chǎn)品，使用兩種視圖模式優(yōu)化儀器操作，拓展產(chǎn)品應(yīng)用空間
• 傳統(tǒng)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)能夠靈活通信

應(yīng)用

• 化學(xué)輸送系統(tǒng)內(nèi)的實時粒子監(jiān)測
• 流程監(jiān)控點
• 化學(xué)包裝操作監(jiān)控
• 化學(xué)過濾器性能和效率描述
• 化學(xué)處理部件的性能測試