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產      地:
上海
所在地區:
湖北武漢市
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高感光度標準G線正型光刻膠

AZ1500系列G線光刻膠

為廣泛應用于半導體制造領域而優化的高感光度G線正型光刻膠

特征:

1) 高感光度,高產出率

2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進

3) 廣泛應用于全球半導體行業

AZ1500系列G線光刻膠參考工藝條件:

前烘 :100℃ 60 (DHP)

曝光 :G線步進式曝光機/接觸式曝光機

顯影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60 Puddle

清洗 :去離子水30

后烘 :120℃ 120 (DHP)

剝離 :AZ剝離液及/或氧等離子體灰化

產品型號:AZ1500

Viscosity:4.4mPa 20mPa 38mPa 90mPa

AZ1500系列G線光刻膠 旋涂曲線:

AZ1500系列i線光刻膠 圖案輪廓:





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