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中國國家電子超純水規(guī)格GB/T1146.1-1997

來源:成都唐氏康寧科技發(fā)展有限公司   2010年09月02日 09:55  

級別
        指標 
 
EW-I
 
EW-II
 
電阻率MΩ.cm(25℃)
 
18以上(95%時間)不低于17
 
15(95%時間)不低于13
 
硅≤µg/l
 
2
 
10
 
>1µM微粒數(shù)≤個/ml
 
0.1
 
5
 
細菌個數(shù)≤個/ml
 
0.01
 
0.1
 
銅≤µg/l
 
0.2
 
1
 
鋅≤µg/l
 
0.2
 
1
 
鎳≤µg/l
 
0.1
 
1
 
鈉≤µg/l
 
0.5
 
2
 
鉀≤µg/l
 
0.5
 
2
 
氯≤µg/l
 
1
 
1
 
硝酸根≤µg/l
 
1
 
1
 
磷酸根≤µg/l
 
1
 
1
 
硫酸根≤µg/l
 
1
 
1
 
總有機碳≤µg/l
 
20
 
100

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