滑閥式真空泵的抽氣工作原理其實與片泵相似,當兩者泵結構不同的時候。 滑閥式真空泵是主要利用滑閥機構來改變西氣腔容積,因而稱為華發泵。”滑閥式真空泵雖然是一種老泵,但與旋片泵等比較,它具有允許工作壓力高(10 4 pa)、抽氣量大、能在惡劣環境下連續工作,經久耐用等突出特點,所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業得到廣泛的應用。
目前真空行業中廣泛使用的油封式真空泵大多是中、小型的選片泵和中、大型的滑閥式真空泵。旋片泵在較臟的工作條件下,旋片泵在轉子槽中卡住。盡管滑閥式真空泵對這一缺點有一定程度的克服,但由于滑閥的質心相對回轉中心的距離不是定值,雖然結構上采取了一些平衡措施,但尚不能達到*平衡,故振動難以完成消除。尤其泵的容量越大,振動亦更大。同時上述兩種泵,特別是滑閥泵與其排氣量相比外形尺寸顯得較大。
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