半導體設備韓國LS中空軸APM-HB03HBH-SV

韓國邁克彼恩Mecapion ，其前身為韓國麥特斯Metronix 株式會社成立于1995年，于2007年3月份正式更名為邁克彼恩Mecapion，是韓國zui大的自動化設備及機械裝置方面的核心部件即旋轉編碼器、伺服系統等產品的開發研制、生產、銷售和售后服務的優良企業，并獲得了ISO9001質量體系認證。產品已廣泛應用于冶金、電機、電梯、輕工機械、噴繪、紡織、半導體等行業，在韓國電機驅動和運動控制行業處于。其中伺服控制技術，在整合了歐系和日系伺服系統的各自優點的基礎上不斷進行創新和開發，使得伺服產品日益完善。 

邁克彼恩Mecapion 擁有伺服電機、編碼器以及伺服驅動器等核心技術的自主開發能力，優良的開發技術加上的制造工藝使得邁克彼恩Mecapion 的產品有很好的性價比，能夠滿足不同行業用戶的應用要求。

伺服產品功率從30W到37KW范圍廣，電機法蘭大小從40到220，編碼器反饋可以選擇增量型和值型，電機軸輸出形式多樣供用戶選擇。的性能和選擇的多樣性，使得邁克彼恩Mecapion 伺服產品可以充分滿足各種行業的需要，得到了越來越多的用戶的認可和支持。同時供貨期短，服務專業細致，也成為了邁克彼恩Mecapion 產品在市場中強有力的核心競爭力。

開發完成半導體設備8‘’及12‘’晶圓用 spinner電機適用于涂膠，顯影及清洗工程

實現率瞬間加速特性-100.000rps以上

可根據客戶的要求，定做各種SPinner電機

按照客戶的要求提供多種中空軸

采用磁性流體密封，強化耐環境性

表面進行特殊涂布處理，強化耐腐蝕性

應用范圍：

　　1，半導體制造工業

　　2，設備應用

　　A.曝光顯影設備(涂膠，顯影)光刻加工程序的主要設備及掌控涂層，曝光，顯影。

　　B.清洗、蝕刻設備用于蝕刻，清洗，去膜設備。

　　C.清洗設備適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗刷子、聲控及噴霧工藝。

　　技術含量

　　設備條件

　　高轉速(5000rpm~8000rpm)真空軸

　　加/減速時間冷卻系統(水冷系統)

　　低噪音和振動zui低公差

　　中空軸尺寸zui小化處理按照客戶需求柔性定制

　　采用重疊設計是尺寸zui小化

LS中空軸APM-HB03HBH-SV圖片

半導體設備韓國LS中空軸APM-HB03HBH-SV