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多級羅茨型干泵
多級羅茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液體的機械真空泵。
在FPD、電子和半導體行業等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高良率和可維護性。代表性的泵之一是羅茨式干真空泵。
多級羅茨式干真空泵在稱為外殼的盒子內有兩個三葉轉子，它們通過一對齒輪以相同頻率沿相反方向旋轉。轉子彼此不接觸，或者轉子與殼體不接觸，并且在保持小間隙的同時旋轉以傳送和壓縮氣體。轉子具有多級結構，將其壓縮至大氣壓，并將其排放到大氣中。轉子外殼內不使用油或其他密封液體，可實現清潔排氣。齒輪和軸承使用油進行潤滑，但設計了密封結構以防止油進入殼體。
通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。
特點
高溫區域均熱化
實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出。
“Model:UR”可比“Model:HR”更加高溫化。氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。瞬停對策
采取了1000msec以內瞬停對策。出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。通信功能
可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。
用途
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等
規格
| 型號 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | |||||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | ||||||
| 機械增壓泵 | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||
| 最大 排氣速度 | 50Hz | m3/h (L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | |||||
| 60Hz | m3/h (L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | ||||||
| 到達壓力 | Pa | 5 | 0.67 | |||||||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 *1 | |||||||||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | Pa | 1~ 大氣壓 | ||||||||||
| 吸氣口 (CE規格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| 排氣口 | KF40 | |||||||||||
| 質量 | kg | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | ||||||
| 電源 | 三相 | VAC (Hz) | 200(50/60), 220(60) | |||||||||
| 電流值 | 穩定時 | A | 7.1 (at 200V) | 11.2 (at 200V) | 7.8 (at 200V) | 12.9 (at 200V) | 15.4 (at 200V) | |||||
| 最大值 | A | 7.3 (at 200V) | 11.8 (at 200V) | 8.1 (at 200V) | 13.8 (at 200V) | 18.9 (at 200V) | ||||||
| 冷卻水一次圧力 | MPa | 0.1~0.3 | ||||||||||
| 冷卻水出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||||||
| 冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||||||
| 二次壓力 | MPa | 0.05~0.1 | ||||||||||
| N2吹掃 | 軸 | SLM | 5 | |||||||||
| 氣鎮 | SLM | 0~45 | ||||||||||
*1 HR300、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續運轉。
尺寸圖
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