真空管式爐通過結合真空技術與熱處理技術,在真空或可控氣氛環境下對材料進行高溫加熱處理,其工藝流程如下:
1、樣品放置與密封
將待處理材料放入爐管內,注意避免堵塞氣體通道。關閉爐門后,通過法蘭和密封圈(如氟橡膠O型圈)實現真空密封。
2、抽真空與通氣
啟動真空泵抽至目標真空度,或根據工藝需求通入特定氣體。例如,在CVD(化學氣相沉積)工藝中,需先抽真空再通入反應氣體以沉積薄膜。
3、加熱與保溫
在溫控儀上設置升溫程序,啟動加熱后,系統自動執行升溫、保溫階段。例如,金屬熱處理可能需在800℃保溫2小時以完成相變。
4、冷卻與取樣
加熱結束后,可選擇自然冷卻或通入氣體加速冷卻。待溫度降至安全范圍(如<100℃)后,打開爐門取出樣品。
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