半導體襯底,掩模板,外延片瑕疵測試中外延片的瑕疵檢測難度最小,因為半導體外延片表面為黑色,而襯底和掩模板一般為半透明,透明材質的檢測難度大于有色材質的難度。深圳熒鴻表面瑕疵檢測燈SL8500可檢測襯底,掩模板,外延片瑕疵,不過檢測的方法略有不同。
瑕疵檢測燈SL8500采用一顆20W進口LED并配上深圳熒鴻研發的光學鏡片,使其照度比一般的都高,可檢測大多數的微小瑕疵(1um)。SL8500有白光和黃綠光兩種光源,樣式為桌面式。SL8500采用1顆20W 高亮度進口LED加定制的光學鏡片; LED平均壽命是30000小時,可添加不同濾光片得到不同波長的光源。SL8500在30cm距離處,光照度為15萬LX,可檢測大部分瑕疵。有更高要求瑕疵檢測,可采用SL8600或SL8900。
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