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日本Technomate增壓泵的部分型號(hào)及詳細(xì)介紹
1. KPM 系列
- KPM-5030
- 排氣壓力：
- 外形尺寸：W470×D800×H370mm
- 重量：110公斤
- No1：4MPa，流量12L/min
- No2：2MPa，流量3L/min
- 產(chǎn)品概要：可同時(shí)排放兩個(gè)不同壓力的獨(dú)立輸出，適用于CSP等的切割、去毛刺等操作，一臺(tái)設(shè)備即可完成。放電操作由外部信號(hào)獨(dú)立執(zhí)行。
- 規(guī)格：
- 用途：CSP劃片、去毛刺等。
- KPM-40B
- 排氣壓力：No1 4MPa，流量12L/min；No2 2MPa，流量3L/min
- 外形尺寸：W470×D800×H370mm
- 重量：110公斤
- 產(chǎn)品概要：一種內(nèi)置氣動(dòng)柱塞泵的高壓水發(fā)生裝置，適合安裝在集氣壓調(diào)節(jié)器、氣壓表、排氣壓力表等為一體的裝置中。
- 規(guī)格：
- 用途：用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
2. KPW 系列
- KPW-20
- 純水、IPA：FKM
- NMP：Kalrez
- 排氣壓力：0.98~9.8MPa
- 排出流量：1.13L/min
- 驅(qū)動(dòng)氣壓：0.05~0.5MPa
- 耗氣量：約70L（泵沖程數(shù)為60SPM時(shí)）
- 濕密封：
- 用途：用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
- KPW-30
- 純水、IPA：FKM
- NMP：Kalrez
- 排氣壓力：1.47~14.7MPa
- 排出流量：0.71L/min
- 驅(qū)動(dòng)氣壓：0.05~0.5MPa
- 耗氣量：約70L（泵沖程數(shù)為60SPM時(shí)）
- 濕密封：
- 用途：用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
- KPW-37.5
- 純水、IPA：FKM
- NMP：Kalrez
- 排氣壓力：1.76~17.6MPa
- 排出流量：0.58L/min
- 驅(qū)動(dòng)氣壓：0.05~0.5MPa
- 耗氣量：約70L（泵沖程數(shù)為60SPM時(shí)）
- 濕密封：
- 用途：用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
3. FSBL 系列
- FSBL-50
- 純水、IPA：氟橡膠
- NMP：Kalrez
- 排氣壓力：2.5~25MPa
- 排出流量：1.68L/min
- 驅(qū)動(dòng)氣壓：0.05~0.5MPa
- 先導(dǎo)氣壓：0.3~0.5MPa
- 濕密封：
- 用途：用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
4. PU 系列
- PU300A
- 外部切斷動(dòng)作時(shí)溢流閥自動(dòng)切換內(nèi)部循環(huán)溢流動(dòng)作壓力0.5MPa
- 循環(huán)水溫上升檢測動(dòng)作溫度50℃
- 過電流/漏電保護(hù)功能斷路器動(dòng)作
- 泵：級(jí)聯(lián)不銹鋼泵，400W
- 排出流量：13L/min（50Hz）/16L/min（60Hz），在0.5MPa壓力下
- 適用流體：純凈水
- 遙控功能：水泵運(yùn)行/停止指令，DC24V
- 安全操作：
- 電源：AC200V ±10%，3Φ，50/60Hz，1.2kVA
- 外形尺寸：W228×H336×D520mm
- 重量：約25公斤
- 使用環(huán)境：室內(nèi)，溫度10~35℃，濕度30~80%
- 用途：各種清洗設(shè)備、切粒機(jī)主軸電機(jī)冷卻、去毛刺等。
- PU201A
- 外部切斷動(dòng)作時(shí)通過泄壓閥自動(dòng)切換內(nèi)循環(huán)泄壓動(dòng)作壓力5Kgf/cm2
- 循環(huán)水溫上升檢測動(dòng)作溫度50℃
- 過電流/漏電保護(hù)功能斷路器動(dòng)作
- 泵：級(jí)聯(lián)不銹鋼泵，200W
- 排出流量：17L/min（50Hz）/9L/min（60Hz），在4Kgf/cm2壓力下
- 適用流體：純凈水
- 遙控功能：水泵運(yùn)行/停止指令，DC24V
- 安全操作：
- 電源：AC100V ±10%，50/60Hz，8A
- 外形尺寸：W210×H245×D390mm
- 重量：約15公斤
- 用途：各種清洗設(shè)備、切粒機(jī)主軸電機(jī)冷卻、去毛刺等。
5. SSBL 系列
- SSBL-20
- 用途：用于晶片IPA清洗或利用溶劑的剝離等高壓應(yīng)用。
- SSBL-37
- 用途：用于晶片IPA清洗或利用溶劑的剝離等高壓應(yīng)用。
6. UPPU 系列
- UPPU-10LR
- 用途：用于需要低水壓供應(yīng)水并進(jìn)行增壓的設(shè)備。
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