淺談HMDS烘箱的應用

來源：愛義信工業(yè)科技（上海）有限責任公司 2025年07月19日 10:49

HMDS烘箱主要用于半導體和微電子制造中的光刻工藝，具體應用如下：

1，去除光刻膠中的溶劑

預烘烤：在涂覆光刻膠后，HMDS烘箱通過加熱去除膠中的溶劑，增強膠與基底的附著力。

2，增強附著力

HMDS處理：HMDS作為増附劑，烘箱加熱使其與基底表面反應，形成化學鍵，提升光刻膠的附著力。

3，提高光刻精度

均勻加熱：烘箱提供均勻加熱，確保光刻膠厚度一致，減少缺陷，提升圖案精度。

4，工藝穩(wěn)定性

精確控溫：烘箱具備精確的溫度控制，確保工藝穩(wěn)定性和重復性。

5，提高生產(chǎn)效率

批量處理：可同時處理多個晶圓，提升生產(chǎn)效率

6，應用領(lǐng)域

半導體制造：用于晶圓上的光刻膠處理。

MEMS制造：在微機電系統(tǒng)中用于光刻工藝。

顯示技術(shù)：在LCD和OLED制造中用于光刻膠處理。

總結(jié)：

HMDS烘箱在半導體和微電子制造中至關(guān)重要，通過去除溶劑、增強附著力、提升精度和穩(wěn)定性，確保光刻工藝的高效和可靠。

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