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真空封管機整套系統通常由以下核心部件組成

來源:深圳市錫成科學儀器有限公司   2025年06月23日 06:32  
  真空封管機是用于在真空或惰性氣體環境中對玻璃管、金屬管或其他容器進行密封的專用設備,廣泛應用于電子、材料科學、半導體制造、科研實驗等領域。
  真空封管機整套系統通常由以下核心部件組成:
  一、核心功能部件
  1.真空系統
  真空泵:提供負壓環境,常見類型包括旋片式真空泵、擴散泵或分子泵(根據真空度要求選擇)。
  真空腔室:容納待封管件的密閉空間,通常由不銹鋼或鋁合金制成,配備觀察窗和密封門。
  真空規:實時監測腔室內的真空度(如皮拉尼規、熱偶規或電離規),確保達到工藝要求。
  氣動/電動閥門:控制真空腔室與外界的通斷,支持快速抽氣和充氣(如惰性氣體回填)。
  2.加熱封裝單元
  加熱爐:局部或整體加熱封管區域,溫度范圍通常為常溫~1000℃(可調節),支持石英管、玻璃管或金屬管的熔封。
  溫度控制器:PID溫控系統,精確設定加熱溫度和時間,避免過熱或封堵不嚴。
  火焰噴槍(可選):部分機型配備氫氧焰或乙炔焰噴槍,用于玻璃管的高溫熔融密封。
  3.工作臺與夾持機構
  旋轉/平移工作臺:用于固定和調整待封管件的位置,支持多工位連續操作。
  精密夾具:適配不同管徑(如Φ1~50mm)的夾持裝置,確保封管過程中的穩定性。
  三維調節支架:微調管件角度和高度,適應復雜封堵需求。
  二、真空封管機輔助功能模塊:
  1.氣體處理系統
  惰性氣體充氣模塊:在封管前向腔室或管內充入氬氣、氮氣等保護氣體,防止氧化或污染。
  氣體混合裝置(可選):按比例混合多種氣體,滿足特殊工藝需求。
  壓力傳感器:監控充氣壓力,確保管內氣壓穩定。
  2.冷卻系統
  水冷或風冷裝置:用于快速冷卻加熱后的管件,減少熱應力損傷,提升封管效率。
  熱交換器(可選):針對高溫工藝設計,加速腔室降溫。
  3.尾氣處理單元
  廢氣吸附過濾器:捕獲封管過程中產生的揮發性有機物或有害氣體。
  真空油脂收集器:防止真空泵油污回流至腔室。

 

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