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ICP質譜儀是一種高靈敏度的分析儀器，在環境監測、生物醫學、地質勘探等領域發揮著重要作用。
ICP質譜儀基于帶電粒子在電磁場中能夠偏轉的原理，將電感耦合等離子體(ICP)技術與質譜(MS)技術相結合進行元素分析。樣品先被引入高溫等離子體炬管中，樣品基體被離子化形成諸多粒子，其中待測元素離子化的部分是分析對象。這些離子被純化提取出來后引入質譜儀部分，在質譜儀中，離子根據其質荷比(m/z)進行分離，不同質荷比的離子在電場和磁場的作用下沿不同路徑運動，然后到達檢測器被檢測到電信號并記錄到軟件中，進而得出樣品中各元素的性質和含量信息。
ICP質譜儀較為重要的應用是分離同位素并測定它們的原子質量及相對豐度。測定原子質量的精度超過化學測量方法，大約2/3以上的原子的質量是用質譜方法測定的。由于質量和能量的當量關系，由此可得到有關核結構與核結合能的知識。對于可通過礦石中提取的放射性衰變產物元素的分析測量，可確定礦石的地質年代。
質譜方法還可用于有機化學分析，特別是微量雜質分析，測量分子的分子量，為確定化合物的分子式和分子結構提供可靠的依據。由于化合物有著像指紋一樣的特殊質譜，ICP質譜儀在工業生產中也得到廣泛應用。
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