臨近中國新年放假，為了讓您的設備在長時間停機后，方便在開始工作時能快速恢復正常使用狀態，在放假之前請做好以下安排：

EM TIC 3X 三離子束切割儀

01切斷電源

設備抽真空，真空度到10-4后，設備關機，切斷電源拔掉插頭。

02清潔樣品臺

使用無油壓縮空氣清潔樣品臺。執行該清潔步驟時，應將樣品臺從儀器上拆下，并小心地使用無油氣流清理散落的顆粒。應避免將顆粒吹入樣品臺。

儲存時，使用儀器交貨時自帶的泡沫儲存插件。

03關閉氣瓶

關閉氬氣瓶閥門及減壓閥。

04擦拭鏡頭

用吹耳球從側面吹掉鏡片上浮塵，用無塵紙蘸少量蒸餾水擦拭目鏡和物鏡。

05清潔桌面

整理桌面和設備衛生，避免灰塵和化學品污染設備。周圍避免使用有機試劑，有機揮發物容易附著在離子源內部，形成污染。

06防塵、防潮

把設備放在干凈、干燥的環境中，為機器套上防塵罩，控制環境濕度，濕度較大會污染離子源。

07再次啟用

假期歸來，長時間不使用，下次使用前，提前一天開機抽真空，開機真空度到達10-5后，點擊purge按鈕，氬氣沖洗1分鐘后，再開始加工。

如果您配有TIC 3X冷凍樣品臺。長時間不使用液氮泵，將液氮泵從杜瓦瓶中取出：冷凍狀態的液氮泵需保持垂直狀態，以避免水和濕氣進入閥門。取出液氮泵之后利用黃色保護帽封閉液氮泵下端，并掛在配套支架上。（將液氮泵從杜瓦瓶取出之前，關閉液氮泵，并等待數分鐘，等待液氮管回溫變軟，防止折斷！）