將潔凈室交付給用戶前一項必須進行的工作就是測量懸浮粒子的濃度。這樣做是為了確保粒子計數處于設計階段所設定的標準范圍以內。
測量潔凈室內的懸浮污染可以在此種占用狀態下進行,這就是 ISO14644-1標準中所規定的:
空態:潔凈室建造完成,可以投入使用。其所有的設施均已連通并處工作狀態,但室內無生產設備無人員在場;
靜態:潔凈室建造完成,所有設施都在工作,生產設備在按規定運轉,但無操作人員在場;
動態:潔凈室處正常運行狀態,所有設施接通并在運行,生產設備和人員(根據情況)就位,人員在進行正常的機器操作。
從建筑商建造好潔凈室到室內生產出產品這之間,常常有相當長的時間間隔。但建筑商愿意在潔凈室建好后就收款,所以通常的做法是在“空態”狀態下檢查潔凈室的狀況是否令人滿意。如果令人滿意,就支付全部或大部分款項。而問題是在“空態”條件下檢測潔凈室時,室內沒有生產設備在工作,沒有人員在場,沒有產生懸浮粒子。因此,室內的懸浮粒子濃度非常接近經過過濾的送風中的粒子濃度。但實際上潔凈室的測試需要一個或多個人員在場,這些人員會增加室內粒子計數。但其計數要比潔凈室處在“動態”條件下的粒子計數低得多。
因此,在潔凈室處于“空態”狀態下確認其是否符合潔凈度等級限值,對建筑商有利。因為在所有的占用狀態下,“空態”的粒子計數低,而且“空態”測試可以在潔凈室完工后立即進行。如果在潔凈室的建筑合同中未規定占用狀態,恐怕就會有問題。用戶可能希望潔凈室在占用的狀態下有令人滿意的性能,而建筑商可能考慮的是使潔凈室達到正確的潔凈度等級,即使是在“空態”狀態下也行。所以,應在建筑合同中明確哪種占用狀態下的潔凈度。
如果潔凈室的設計正確,潔凈室是在空著的時候即“空態”條件下測試的,那么就有一個經驗法則可以適用。這就是說“空態”下的潔凈室比“動態”時的潔凈度高出一個潔凈度等級。但這并非總是對的。而在“空態”狀態下增加一些另外的測試,應能預示出潔凈室在“靜態”或“動態”狀態下其符合潔凈度等級的可能性有多大。送風量與送風質量就是這類測試的重要內容。對于單向流系統中的定向氣流而言,如果沒有粒子繞過了過濾器進入室內且風速正確,就可能達到正確的潔凈度等級。而在紊流潔凈室中,能否在“動態”狀態下達到正確的潔凈標準就不那么肯定。因為紊流潔凈室仰仗的是充分的送風量來稀釋機器和人員散發出的污染。但對于有經驗的設計者來說,這應不是一個問題。通常設計者在設計中保留的余地過大,結果潔凈室比期望的更為潔凈。
建筑商將潔凈室交工后,就要在潔凈室內安裝設備并進行調試。最后是開始生產。然后,就可以在“動態”狀態下測量粒子污染的狀況。“動態”條件是具相關性的條件,因為它反映的是當生產區域處于工作狀態下的實際污染狀況。而這種條件下的粒子計數也可能就是高的。
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