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場發射電子顯微鏡

來源:北京華納微科技有限公司   2023年07月11日 17:18  


場發射掃描電子顯微鏡(FESEM)是電子顯微鏡的一種。該儀器具有超高分辨率,能做各種固態樣品表面形貌的二次電子像、反射電子象觀察及圖像處理。

該儀器利用二次電子成像原理,在鍍膜或不鍍膜的基礎上,低電壓下通過在納米尺度上觀察生物樣品如組織、細胞、微生物以及生物大分子等,獲得忠實原貌的立體感強的樣品表面超微形貌結構信息。 具有高性能x射線能譜儀,能同時進行樣品表層的微區點線面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化學組分綜合分析能力。

掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數可調范圍寬等優點而被廣泛應用于半導體、無機非金屬材料及器件等的檢測。隨著我國經濟的迅速發展,高校、科研單位、企業等大量引進了場發射掃描電子顯微鏡。但是在掃描電子顯微鏡的使用過程中,特別是在安裝初期,使用者通常由于對電鏡的運行狀態缺乏系統認識,經常會遇到軟件死機、樣品臺被卡、真空問題等多種故障。解決方式一般為請維修工程師上門維修,除花費時間和費用外,也造成了對電鏡操作者的心里束縛。筆者以德國蔡司ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡為例,從環境條件、光學系統、真空系統及附件設施4個方面總結了熱場發射掃描電子顯微鏡運行狀態的幾種檢查方法和維護保養經驗。


場發射掃描電子顯微鏡(簡稱場發射掃描電鏡)是研究微觀世界的重要工具之一,為人們在微納米尺度上研究物質的結構提供了有力的手段,在材料科學等眾多學科領域及質量過程控制中得到日益廣泛的應用。


北京華納微科技有限公司專業維修FEI電鏡、維修ZEISS電鏡。作為第三方服務提供者,我們具有快速響應的優勢,同時我們有大量的備品備件和耗材的儲備,對于一般為題經過判斷后工程師可以帶維修備件直接到現場維修。華納微科技在北京和上海都有工程師為客戶提供服務。


在維修技術和經驗上,華納微科技的工程師都是在FEI和ZEISS服務多年的工程師,可以提供電鏡各種故障的排除和維修,包括軟件設置、電光學光路部分的調校和清洗、電路部分的檢查維修、真空測量維修等。

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我司現有幾臺FEI二手場發射電鏡出售,功能正常,售后有保障,我司工程師都是在FEI和ZEISS服務多年的工程師,可以提供電鏡各種故障的排除和維修,包括軟件設置、電光學光路部分的調校和清洗、電路部分的檢查維修、真空測量維修等。


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