一、便攜式空氣顆粒計數器專為滿足符合ISO14644標準的潔凈室應用而設計。可利用嵌入式的采樣和位置識別管理組織常規的潔凈室監測。靈活的通訊方式——設置簡單,數據傳輸方便。供選擇的無線,以太網和串口通訊可以將數據傳輸到METONE數據管理系統,或者客戶已有監控軟件,以便減少文書工作。
二、易于同任意FMS系統集成,METONER4800系列遠程空氣顆粒計數器采用標準的RS-485串行通信,METONER4900系列遠程空氣顆粒計數器則使用工業標準4-20mA接口。
三、靈活方便,可用于所有的遠程空氣顆粒計數器應用,靈敏度范圍從0.3um到0.5um,流速范圍從0.1cfm到1.0cfm。計數器上的LED狀態指示燈可閃爍并可在連接器處設置信號用于報警。
四、簡便安裝選項,小型不銹鋼外殼適應于大多數制程環境。因為不帶有會破壞氣流的風扇,使METONER4800/R4900系列空氣顆粒計數器可放置在zui接近敏感的制程區域。
五、符合ISO21501-4標準的可靠性和準確性,專用于滿足特殊顆粒計數要求,儀器與儀器之間的準確度和再現性符合ISO21501-4標準要求。
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