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掃描電鏡已經(jīng)成為材料科學(xué)、微電子、冶金、地質(zhì)等學(xué)科不可少的表征手段。
今天，掃描電鏡已經(jīng)成為材料科學(xué)、微電子、冶金、地質(zhì)等學(xué)科不可少的表征手段。從金屬到聚合物，從結(jié)構(gòu)件到納米顆粒，從微電子器件到礦石，從永磁材料到軟磁材料……
各大高校、科研院所的電鏡實(shí)驗(yàn)室每天都會(huì)面對(duì)各類樣品，而對(duì)于表征結(jié)果的要求也越來越高。這就要求掃描電鏡不僅要有高標(biāo)稱分辨率，還要在面對(duì)不導(dǎo)電、不耐輻照、不平整、帶磁性等等的疑難樣品時(shí)，依舊能夠獲取高質(zhì)量成像結(jié)果。
掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)：
1.有較高的放大倍數(shù)，20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào)；
2.有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；
3.試樣制備簡(jiǎn)單。
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡，第六代 Phenom Pro 是一款使用高亮度 CeB6 燈絲的高分辨臺(tái)式掃描電鏡。放大倍數(shù) 350,000 倍，用于觀察納米或者亞微米樣品的微觀結(jié)構(gòu)。基于高亮度 CeB6 燈絲和全新的聚焦系統(tǒng)，Phenom Pro 的分辨率輕松達(dá)到 6 nm，同時(shí)具有全自動(dòng)操作、15 秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3 年更換燈絲等特點(diǎn)。
產(chǎn)品參數(shù)
1.光學(xué)顯微鏡：放大 20-135 倍
2.電子顯微鏡：350,000 倍
3.探測(cè)器：高靈敏度四分割背散射電子探測(cè)器
4.燈絲材料：1,500 小時(shí) CeB6 燈絲
5.分辨率：優(yōu)于 6 nm
6.放置環(huán)境：采用專業(yè)防震設(shè)計(jì)，可擺放于普通實(shí)驗(yàn)室或辦公室、廠房
7.加速電壓：5kV-15kV 連續(xù)可調(diào)
8.抽真空時(shí)間：小于 15 秒
Phenom Pro 后期可升級(jí)為同時(shí)具備顯微圖像和元素成分分析的電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX。Phenom Pro 可選配所有的樣品杯選件和所有的拓展功能軟件選件。
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