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ICP光譜儀不同于色散型的設備，FTIR是基于對干涉后的紅外光進行傅里葉變換的原理而開發的ICP光譜儀，主要由光源、干涉儀(分束器、動鏡、定鏡)、樣品室、檢測器以及控制電路板和電源組成。可以對樣品進行定性分析，廣泛應用于醫藥化工、環保等領域。
特定頻率的紅外光照射被分析試樣，如果分子中有某個基團的振動頻率與照射的紅外線頻率一致是便會產生共振并吸收一定量的紅外光，儀器記錄儀便會記錄這個分子的吸收情況，這樣便能夠得到試樣成分的特征光譜，ICP光譜儀便是利用這一原理來推斷化合物的類型與結構。
譜圖的獲取方法是檢測器探測透過樣品后帶有信息的干涉光，經過信號處理后獲取譜圖。干涉光的產生是通過紅外光源發射出的紅外光入射到光束分裂器(類似半反半透鏡)上,紅外光將分成兩束光分別到定鏡與動鏡上。由于動鏡是在一定距離范圍內勻速運動的，因此兩束光形成光程差，在返回分束器的時產生干涉。
ICP光譜儀使用環境要求
1、環境溫度：一般15℃-25℃較為合適；
2、環境濕度：相對濕度20-80%；
3、防塵：防止有害固體粉塵進入儀器和操作環境；
4、供電要求：供電電壓，要求不允許電壓大幅度的波動，好配備穩壓電源；
5、電磁干擾：地線電阻要小，遠離大型強電設備，減小干擾。
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