微小流量測(cè)量要注意哪些問題?
微小流量測(cè)量是一種精密度要求比較高的工作,因此建議相關(guān)人員多了解關(guān)于流量測(cè)量的問題,以及在使用出現(xiàn)顯示流量不穩(wěn)定的原因,怎樣處理等知識(shí)。
微小流量測(cè)量注意要點(diǎn):
1. 要求測(cè)量時(shí)防止污染流體
若測(cè)量潔凈氣體和純水常不允許接觸流體的儀表零件材料析出離子,例如半導(dǎo)體制備中儀表不能用金屬和玻璃制成,只能用塑料。流體中也不容許混入活動(dòng)件的磨蝕塵粒。流量儀表流通通道要盡可能簡單,不應(yīng)有潴留部位,防止潴留介質(zhì)變質(zhì)。
2. 要用實(shí)際使用流體校準(zhǔn)
液體流量儀表一般用水校準(zhǔn),氣體用空氣校準(zhǔn)。若知道實(shí)際測(cè)量流體與校準(zhǔn)流體間某些物性不同對(duì)示值有規(guī)律變化時(shí),中大管徑流量儀表常以適當(dāng)系數(shù)修正。但有些小流量儀表受黏度等流體物性影響大,須以實(shí)際使用流體校準(zhǔn)。所幸流量小,用實(shí)際使用流體校準(zhǔn)難度不大,但在作有害性流體校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)注意安全和環(huán)境污染。
顯示的流量不穩(wěn)定產(chǎn)生的原因有哪些:
,可能為空間干擾,可采用適當(dāng)屏蔽,遠(yuǎn)離干擾源,選用屏蔽線的方法。
第二,可能為電路或調(diào)節(jié)閥故障,需要回廠檢修。
第三,可能為介質(zhì)壓強(qiáng)太低或不穩(wěn)。
第四,可能為污染,應(yīng)注意管路的密封性和氣源干燥 。
第五,可能為地線干擾,檢查接地系統(tǒng),注意一點(diǎn)接地;
第六,可能為介質(zhì)性質(zhì)不同時(shí)也可能出現(xiàn)控制不穩(wěn)定現(xiàn)象。
第七,可能為氣源內(nèi)阻過大,需要降低氣源內(nèi)阻。
3.氣泡和塵埃附著的影晌
因管徑小黏性增加,液體中微細(xì)氣泡易在管系流動(dòng)過程中積聚變大,使測(cè)量時(shí)指示不穩(wěn),精確度下降。流體中塵埃附著測(cè)量元件也要影響測(cè)量值,例如浮子流量計(jì)的浮子上沉積有肉眼覺察不出的附著層也會(huì)影響示值。
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