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大功率整流電源要求高頻直流電源的電流容量大、擊穿電壓高、散熱性能好，但這種器件的結面積大、結電容大，因而工作頻率很低，一般在幾十千赫以下。硅材料的禁帶寬度較大，導熱性能良好，適于制作大功率高頻直流電源件。在耐高壓的高頻直流電源裝置中常采用高壓硅堆，它由多個高頻直流電源件的管芯串聯組成，其反向耐壓由管芯的耐壓及串聯管芯數決定，zui高耐壓可達幾百千伏。如果高頻高頻直流電源電路用于很高頻率下，當交流電壓的周期與高頻直流電源通態到關態的恢復時間相當時，高頻直流電源對高頻電壓不再起整流作用。為適應高頻工作的需要，通常在硅高頻直流電源中采用摻金的方法，以縮短注入少數載流子的壽命，從而達到減小恢復時間的目的。
為了減小器件因過壓擊穿造成損壞的可能性和提高高頻直流電源裝置的可靠性，可采用硅雪崩高頻直流電源。在這種器件中，當反向電壓超過允許峰值時，在整個PN結上發生均勻的雪崩擊穿，器件可工作在高壓大電流下，故能承受相當大的反向浪涌功率。制作這種器件時要求材料缺陷少，電阻率均勻，結面平整，外露結區還應進行適當保護，避免發生表面擊穿。硒高頻直流電源的抗過載容量大，承受反向浪涌功率的能力也較強。
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