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　　透氧性是指材料允許氧氣通過的能力，是材料性能的一個重要指標。對于硅片而言，透氧性反映了其阻隔氧氣滲透的能力。

　　通過檢測硅片的透氧性，可以評估其在特定環境下的穩定性和耐久性。高透氧性可能意味著硅片在含氧環境中容易受到氧化影響，從而影響其性能和使用壽命。

　　硅片等壓法透氧儀簡介

　　硅片等壓法透氧儀采用庫侖氧氣傳感器和等壓法測試原理，參照ASTM

　　D3985等標準設計制造，適用于食品、藥品、醫療器械、日化、光伏、電子、工業品等領域的薄膜、片材、容器及相關材料的氧氣透過性能測試。

　　硅片等壓法透氧儀工作原理

　　將處理好的樣品裝夾于測試腔上，氧氣或空氣在薄膜的一側流動，高純氮氣在薄膜的另一側流動，氧分子穿過薄膜擴散到另一側中的高純氮氣中，被流動的氮氣攜帶至傳感器，通過對傳感器測量到的氧氣濃度進行分析，達到滲透平衡后出具氧氣透過率測試數據。

　　保障產品質量與安全性

　　在半導體制造、光伏產業等高科技領域，硅片作為核心材料，其質量直接關系到產品的整體性能和安全性。通過等壓法透氧儀的檢測，可以及時發現硅片在透氧性能方面的問題，從而采取相應措施進行改進，確保產品質量符合標準和客戶要求。這對于維護企業聲譽、提高市場競爭力具有重要意義。