儀器生霉起霧后應及時處理，否則時間長了，就會腐蝕光學零件的表面和鍍膜，甚至于玻璃腐蝕，應及時用一般的混合液或乙基含氫二氯硅烷溶液擦洗，這種溶液即防霧，又有一定的除霧除霉作用。
多倍儀的綠色濾光片大部分是磷酸鹽玻璃，很容易起霧，而且很難擦干凈，可以用稀的氨水清洗，而后用水洗凈，再及時用混合液把濾光片表面擦干，但這種玻璃很不穩定，如果不用時，擦凈放在干燥皿內，或及時作霧處理，否則還會生霉起霧。對硅酸鹽玻璃盡量避免用堿性的物質去擦，因為堿對硅酸鹽類有腐蝕作用。
如果當光學零件嚴重生霉起霧，并已腐蝕了玻璃，只有重新更換玻璃或重新把光學零件拋光。總之，光學儀器要以防為主，發現霉霧要及時處理掉，除霉霧后，要及時采取防霧防霉措施，才能保護儀器使之發揮更大的作用。
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