標準品真空鍍10-3pa到10-4pa 溫度范圍常溫
真空系列位移臺項目開發的特種電機樣機已經實現在民用領域的使用，并形成如下產品優勢：
1. 真空、高低溫(LOX 10-7pa, -196°C~200°C)環境。（需要單獨定做）
2. 工作環境溫度-196°C至+200°C, 線圈溫度可達300°C,適用真空度 l.OXlOTa,耐輻射劑量106Gy 可提供低壓直流和高壓交流選擇，可選配內置溫度傳感器。（需要單獨定做）
3. 標準設計28、35、42、57、86框號兩相四線制混合式真空步進電機
4. 標準化設計生產100~750W真空伺服電機系列
5. 真空減速機（標準化設計制造45、65、85三種規格）
6. 電機表面材料特殊處理,電機的力矩特性提高15%。
7. 基于建立的零部件材料系列體系，可以實現不同溫度范圍、不同規格尺寸的產品定制。
8. 可進行耐輻射、耐鹽霧、抗沖擊、抗霉菌功能拓展,精準匹配客戶需求。
9. 真空倉內專用聚醚乙胺材料真空線
真空系列位移臺項目開發的特種電機樣機已經實現在民用領域的使用，并形成如下產品優勢：
1. 真空、高低溫(LOX 10-7pa, -196°C~200°C)環境。（需要單獨定做）
2. 工作環境溫度-196°C至+200°C, 線圈溫度可達300°C,適用真空度 l.OXlOTa,耐輻射劑量106Gy 可提供低壓直流和高壓交流選擇，可選配內置溫度傳感器。（需要單獨定做）
3. 標準設計28、35、42、57、86框號兩相四線制混合式真空步進電機
4. 標準化設計生產100~750W真空伺服電機系列
5. 真空減速機（標準化設計制造45、65、85三種規格）
6. 電機表面材料特殊處理,電機的力矩特性提高15%。
7. 基于建立的零部件材料系列體系，可以實現不同溫度范圍、不同規格尺寸的產品定制。
8. 可進行耐輻射、耐鹽霧、抗沖擊、抗霉菌功能拓展,精準匹配客戶需求。
9. 真空倉內專用聚醚乙胺材料真空線
10. 高潔凈度的使用環境也是可以選用的。特別的材料選擇，完善的后端處理工藝使其在高潔凈度的環境中使用。
產品參數：| 產 品 型 號 | ZK-GW50-50 | ZK-GW50-100 | ZK-GW50-150 | ZK-GW50-200 | ZK-GW50-300 | ZK-GW50-400 | ZK-GW50-500 | ||||
| 結構參數 | 行程 | 50 mm | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 300 mm | 400 mm | 500 mm | |||
| 臺面尺寸 | 120×120mm | 120×120mm | 120×120mm | 120×120mm | 120×120mm | 120×120mm | 120×120mm | ||||
| 螺桿規格 | 精密滾珠螺桿（導程4 mm） | 滾珠螺桿（導程5 mm） | |||||||||
| 導軌 | 精密線性滑塊導軌 | ||||||||||
| 真空電機 | |||||||||||
| 主體材料 | 鋁合金 | ||||||||||
| 表面處理 | 陽極氧化發黑 | ||||||||||
| 臺面中心負載 | 30 kg | 50 kg | |||||||||
| 平臺自重 | 2.8kg | 3.4kg | 4.5kg | 5.2kg | 6.3kg | 7.2kg | 8.3kg | ||||
| 精度描述 | 8細分分辨率 | 2.5μm | 3.125μm | ||||||||
| 速度 | 20mm/sec | 40mm/sec | 50mm/sec | ||||||||
| 重復定位精度 | 5μm | ||||||||||
| 定位精度（選配光柵） | 8μm | ||||||||||
| 直線度 | 5μm | 6μm | 8μm | ||||||||
| 運動平行度 | 10μm | 15μm | 20μm | ||||||||
| 俯仰 | 25″ | 50″ | 60″ | ||||||||
| 偏擺 | 20″ | 25″ | 30″ | ||||||||
| 回程間隙 | 2μm | ||||||||||
| 丟步運動 | 3μm | 5μm | |||||||||
| 附件描述 | 可加裝失電制動功能(Z) | ||||||||||
| 可加裝光柵尺(G) | |||||||||||
| 可換裝伺服電機(D) | |||||||||||
| 可加裝防塵罩(F) | |||||||||||
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