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晶圓紫外線照射器

UV固化裝置 Wafer UV irradiator

緊湊、低成本的晶圓紫外輻照器，具有波長交換機制

特征

● 使用LED作為
UV照射光源的切割膠帶UV固化裝置 ● 可通過音量旋鈕調節UV照射強度（0～100%）
● UV照射器安裝結構簡單，可輕松更換UV輻照器至其他波長可更換
● 采用 N2 吹掃機制，減少 UV 固化的氧氣抑制● 采用 N2 預吹掃機制
，減少額外的 UV 照射時間
● N2 吹掃量可通過流量計閥門控制

應用示例

● 背磨時晶圓保護膜的固化 ●
切割后UV固化切割膠帶的固化
● 研發、實驗使用
● 小量生產使用

各部分名稱

半導體制造工序（后工序）

方面

典型示例：MUVBA-0.4 x 0.6 x 0.2

* 請注意，規格可能會因產品改進而發生變化。

數據代表示例

* 所示圖表為參考示例，不保證產品質量。

陣容列表

MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2
輻照器類型發射波長 N2氣體流量機身尺寸 W / D / H [mm] 輸入電源電壓 [V]
UV-LED 表面輻照器可選擇 365nm 385nm 395nm 405nm 1-10NL/min（流量可調） 350 x 600 x 190 AC100-240

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UV固化裝置 Wafer UV irradiator

特征

應用示例

各部分名稱

半導體制造工序（后工序）

方面

數據代表示例

陣容列表

MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2

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