1. 杠桿力學(xué)設(shè)計(jì)提升操作便利性
該晶圓夾持系統(tǒng)采用雙支點(diǎn)杠桿結(jié)構(gòu)，通過機(jī)械原理將操作力降低60%以上。鎖定機(jī)構(gòu)啟動(dòng)后僅需維持1N左右的保持力，即可穩(wěn)定支撐標(biāo)準(zhǔn)200mm晶圓，大幅減輕操作人員的體力消耗，使長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)更加輕松舒適。

2. 智能鎖定系統(tǒng)確保穩(wěn)定夾持
創(chuàng)新的彈簧輔助鎖定裝置在閉合后自動(dòng)保持預(yù)設(shè)壓力，無需持續(xù)施力。系統(tǒng)配備壓力感應(yīng)指示燈，通過顏色變化直觀顯示夾持狀態(tài)，有效避免因操作疲勞導(dǎo)致的壓力不足或過大問題。

3. 優(yōu)化接觸設(shè)計(jì)降低污染風(fēng)險(xiǎn)
接觸部位采用醫(yī)用級(jí)PEEK材料精密加工，兩點(diǎn)接觸結(jié)構(gòu)將接觸面積控制在0.12mm2以內(nèi)。PEEK材料具備260℃持續(xù)耐溫性能，在多種化學(xué)環(huán)境下表現(xiàn)穩(wěn)定，符合半導(dǎo)體制造對(duì)材料純凈度的嚴(yán)格要求。

4. 定制化服務(wù)滿足多樣化需求
系統(tǒng)提供多種接觸端形狀和尺寸的定制選項(xiàng)，可根據(jù)具體應(yīng)用需求提供專業(yè)的加工方案。所有組件均采用模塊化設(shè)計(jì)，便于維護(hù)更換，平均使用壽命可達(dá)3000次操作以上，顯著降低使用成本。